市场表现 - 光刻机概念股午后大幅走高，华融化学20%涨停续创新高，容大感光涨近18%，兴业股份、国风新材涨停，南大光电涨超8% [1] 行业现状与国产化空间 - 2022年光刻机国产化率不足1%，为半导体设备中国产化程度最低的环节，国产化替代空间广阔 [1] 技术进展与里程碑 - 2016年上海微电子90nm ArF光刻机SSA600系列实现出货，标志国产光刻机商业化 [1] - 2020年华卓精科自主研发的双工件台实现量产应用，打破ASML在工件台上的垄断 [1] - 2025年哈尔滨工业大学研制成功13.5nm波长EUV光源，中科院上海光机所实现全固态深紫外光源突破，使国内芯片工艺验证能力推进至3nm理论极限 [1] 行业前景 - 众多成果标志国产光刻机在整机与核心零部件环节迭代加速 [1] - 在政策支持与市场应用拉动下，国产产业链整体能力有望持续提升 [1]