Workflow
芯片封装工艺
icon
搜索文档
一文看懂芯片的封装工艺(传统封装篇)
芯世相· 2025-05-30 17:47
传统封装工艺流程 - 减薄工艺:通过研磨将晶圆厚度从600-800μm减薄至几十至一百μm,目的是减小芯片尺寸、改善散热和电学性能,需注意避免机械强度下降和热应力导致晶圆弯曲[8][9] - 切割工艺:分为机械切割(逐渐淘汰)、激光切割(全切和隐切两种)和等离子切割(适用于超小尺寸芯片),隐切技术可避免热损伤[10][11][12][13] - 贴片工艺:将晶粒与封装基板粘接,常用方法包括胶粘剂粘接(环氧树脂/银胶)、焊接粘接(软/硬钎焊)和共晶粘接(高强度但成本高)[13][14][15] - 焊线工艺:使用金/银/铜/铝线连接晶粒与基板,铜因成本性能均衡成为主流材料,通过热超声焊形成稳定焊点[16][17][18][19] - 检测工艺:采用AOI自动光学检测,具备每分钟数百元件的检测能力,可识别微观缺陷并记录数据用于工艺改进[21][24][25][26][27] - 模封工艺:90%以上采用塑料封装(环氧塑封料EMC),分为转移成型和液态封装两种方式,需后续去溢料和后固化处理[28][29][30] - 植球工艺:BGA封装需在芯片表面精确放置锡球,通过锡膏印刷和加热实现可靠焊接[31][33] - 电镀工艺:管脚无铅电镀采用99.95%高纯锡,需退火处理防止晶须生长[33] - 成型测试:包括切筋成型和成品测试(FT),结合ATE自动测试和SLT系统级测试确保质量[34][36] - 出厂流程:激光打标后按客户要求包装发货[37]