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王子控股用木材造光刻胶,适用2纳米半导体
日经中文网·2025-02-03 16:23

日本王子控股开发出了使用木质成分的光刻胶,达到了2纳米以下半导体工艺所要求的性能。 生物质光刻胶仅由来自木质的高分子(聚合物)和溶剂组成。在EUV光照射下,聚合物的易 分解性是普通传统产品的约8倍… … 日本王子控股将开展面向2纳米以下最先进半导体的材料业务。开发出了使用木质成分的光刻胶 (感光材料),目标是到2028年实现商业化。在日本国内纸张需求减少的情况下,王子控股把利 用木质(纸张原料)及现有设备来生产化工产品视为增长支柱。 "王子控股的根基是森林资源,但传统造纸业务呈现出下滑态势。将向造纸以外的业务转型"。社 长矶野裕之在2024年12月召开的投资者关系(IR)说明会上如此表示。王子控股开发出了以木质 中提取的成分为原料的"生物质光刻胶"。目标是到2030年代实现100亿日元的年销售额。 光刻胶属于半导体材料的一种,是绘制电路不可缺少的材料。 将其涂覆在基板(晶圆)上并照射光 线之后,该部分的成分会发生变化,从而使图案显现出来。 经过去除光刻胶等工序后,会在晶圆上 形成电路。 要提高半导体的性能,电路需要进行微细化。 支持新一代光刻设备 要生产电路线宽较小的半导体,需要极紫外(EUV)光刻设备。预计 ...