半导体设备及零部件行业电话会议纪要关键要点 一、纪要涉及的行业与公司 * 行业：半导体设备及零部件行业[1] * 设备厂商：中微公司、北方华创、拓荆科技[3][4][6][7][10] * 零部件厂商：苏州珂玛、华林科纳、恒宇昌、英杰电气、新莱应材、富创精密、江阴江化微、托伦斯、菲利华、江丰电子、国瓷材料、华卓精科、海古德、卡贝尼、蓝电极测、广东先导、高凯技术、青岛新锐、新松机器人、中科科仪[1][3][4][7][9][13] * 晶圆厂：中芯国际、长江存储、长鑫存储、华虹[14] 二、核心观点与论据 2.1 零部件涨价潮与国产化拐点 * 受马奇法案推进预期影响，半导体零部件价格普涨，射频电源、真空计、高纯石英等核心件涨幅达12%-15%[1] * 先进制程设备外购国外零部件价值占比高达80%，国产零部件占比不足20%[1][5] * 成熟制程设备中国产零部件价值量占比接近50%，国外零部件占比50%多[5] * 预计2026下半年核心零部件订单将迎来爆发[1] 2.2 国产化紧迫性排序 * 最紧迫：真空类（真空泵/真空计/真空阀）[1][18] * 其次：电器类（射频电源）[1][18] * 再次：机电一体类（静电卡盘/机械手臂）[1][18] * 最后：金属类和非金属类（国产化率已较高）[18] 2.3 各类零部件涨价幅度 * 电器类（射频电源）：先进制程涨价约13%-15%[3] * 真空系统类（真空泵/真空阀）：涨价约9%[3] * 真空阀（新莱应材产品）：涨价约7%[4] * 机械类（金属结构件）：涨价约5%-6%[4] * MFC（质量流量控制器）：涨价约6%[4] * 真空计（Gauge）：涨价约12%[4] * 高纯石英：涨价约12%[4] * 普通石英（菲利华等）：涨价约3%-5%[4] * 气体分配盘：涨价约8%[4] * 静电卡盘（E-chuck）：涨价约9%-11%[4] 2.4 关键零部件国产化现状 * 射频电源：先进制程国产化率接近于零，基本被霍廷格等国外品牌占据[1][3] * 真空泵：先进制程领域基本空白，主要依赖爱德华、普发等品牌[3][4] * 真空计：2022年后MKS受限，市场转向Inficon、HORIBA等品牌[4] * MFC：市场份额主要由堀场、布鲁克斯等海外品牌占据[7] * 静电卡盘（E-chuck）：国产化率正在提升但产能较低[13] 2.5 静电卡盘（E-Chuck）价值量 * 先进制程12英寸进口件售价约八万多美元（折合人民币四十多万元）[8] * 国产同类产品售价约二十多万元[8] * 8英寸产品价格在十多万元人民币[8] * 中微公司与北方华创正推进自研[1][10] 2.6 MFC（质量流量控制器）配置与价格 * 热式MFC：中微公司采购价约每颗3,000多元[6] * 压差式MFC（用于28纳米及以下先进制程）：采购价每颗9,000元至1.2万元[6] * 一台刻蚀机通常配置八到十二个MFC[6] 2.7 零部件价值占比 * 金属件与非金属件：在设备中价值占比约10%-12%[12] * 电器类（射频电源）：在整机价值中占比约15%[12] * 真空类和气体系统类：在整机价值中占比15%-20%[12] * 温控系统、冷却及加热盘：在整机价值中占比约10%-15%[13] * 腔体约占设备总成本的10%[4] 2.8 国产化率现状 * 射频电源（成熟制程）：国产化率已达40%以上[12] * 射频电源（先进制程）：尚未实现国产替代[12] * 干泵和分子泵（先进制程）：国产化率仅约5%[13] * 干泵和分子泵（成熟制程）：国产化率约10%-20%[13] * 机械手臂：国产化率约10%[13] * EFEM（设备前端模块）：国产化率约30%[13] 三、其他重要但可能被忽略的内容 3.1 马奇法案影响 * 法案核心针对中芯国际、长江存储、长鑫存储、华虹等晶圆厂，明确限制华为[14] * 管制重点包括28纳米以下浸没式DUV光刻机和低温刻蚀机等国内尚不具备生产能力的设备[14] * 法案要求日本、荷兰等盟友国家扩大管制范围[15] * 将倒逼国内晶圆厂加速国产设备及零部件验证和导入[15] 3.2 交付周期延长情况 * Winding Barrel（波纹管）采购交期：2024年20天，2025年一个月，2026年四个月[16] * 射频电源采购交期可达一年半甚至两年[18] 3.3 陶瓷部件市场格局 * 苏州珂玛在先进制程氮化铝产品上已实现小批量供应[7] * 国瓷材料12英寸产品已在北方华创上机验证但尚未完全成熟[7] * 东洋碳素在陶瓷粉末致密性和烧结工艺方面具有优势[9] * 海外设备商如泛林集团自研自产静电卡盘[10] 3.4 华林科纳上市计划 * 华林科纳（原七星流量计）从北方华创分离[7] * 2025年底从华创体系中独立[7] * 计划在三年内上市[7] * 在本土MFC厂商中占据最大市场份额[7] 3.5 国产设备订单量级突变 * 2025-2026年国产设备订单出现量级突变[1][15] * 对国内设备和零部件厂商构成利好[15] * 对晶圆厂而言是巨大挑战，国产设备与海外设备性能仍存在较大差距[15]