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石英玻璃,为什么是首选
中国有色金属工业协会硅业分会·2025-05-13 15:08

石英玻璃的主要成分为二氧化硅,具有透光性高、耐高温、膨胀系数低、化学稳定性强、纯度高、电绝缘 性强等优越特性,石英玻璃制品是现代信息产业、光学、光伏、半导体等国家战略性新兴产业和航空航天 等国防领域发展中不可或缺的重要基础性材料。 石英玻璃制品产业链 按照应用领域划分,石英玻璃制品可分为半导体用石英制品、光伏太阳能用石英制品、光纤用石英制品、 电光源用石英制品、光学用石英制品及其他用石英制品。 1 【 半导体领域 】 半导体领域是石英制品的最大应用领域,石英玻璃纯度高、化学稳定性好,是半导体集成电路制造过程中 不可替代的理想配套辅材。 石英制品在半导体产业链中的应用 芯片制造主要由单晶生长、晶圆加工制造、集成电路晶圆的生产以及后期封装四个部分组成。单晶生长需 要用到石英坩埚和石英器件,石英坩埚是半导体工业中不可或缺的容器;晶圆加工部分刻蚀、扩散、氧 化、退火等步骤中需要用到大量的辅材石英玻璃,如石英片、石英环、石英舟、石英法兰、石英扩散管、 石英钟罩等高纯度石英制品。另外,合成石英锭是平板显示技术中关键部件光掩膜基板的主基材。 随着半导体行业的发展,其对石英玻璃的性能要求逐步提高。沉积工艺要求高纯度,在半导体 ...