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新凯来装备介绍手册
2025-03-28 09:45

纪要涉及的公司 新凯来(Shenzhen SiCARRIER Industry Machines Co., Ltd.),总部位于深圳,在上海、北京等国内城市及海外设有研发中心,致力于先进半导体工艺装备、量检测装备的开发与制造 [4][5] 纪要提到的核心观点和论据 - 半导体工艺装备 - 外延设备(峨眉山系列):如峨眉山采用创新架构设计,覆盖逻辑及存储外延等应用场景,支持向未来先进节点演进;创新小腔室架构搭配智能调度算法,实现资源高效利用和成本降低,核心部件自主可控提升稳定性,多分区温控和流控系统提高外延膜层均匀性 [16][18] - 退火设备(三清山系列):三清山2号和3号分别覆盖不同退火应用场景,具备相应先进能力支撑先进工艺演进;采用大行程磁悬浮升降技术、高吸收选择性反射板设计等降低热预算,非对称式多区边缘补偿技术等实现高均匀性退火,器件级同步技术等提升片间重复性 [19][21][23] - 刻蚀设备(武夷山系列):武夷山1号、3号、5号分别针对不同刻蚀需求,采用不同架构设计满足先进节点各类精细刻蚀场景;具备射频全链路自主可控、电极间隙设计步间可调等特点,实现高效刻蚀和均匀性调节 [29][32][36] - 薄膜沉积设备(普陀山、阿里山、长白山系列):各系列设备适用于不同薄膜沉积场景,具备高均匀性、高产能、高稳定性等特点;采用全靶腐蚀算法、高离化率射频等离子体技术等提升膜层质量和性能,智能调度算法提高产能,创新架构支持向未来先进节点演进 [40][53][65] - 量检测装备 - 光学检测产品(岳麓山、丹霞山等):采用自研光源、物镜和探测器,为逻辑、存储客户提供高灵敏度、高产率、高检出率的缺陷检测解决方案;具备多种光学模式,覆盖前、中、后道各种关键类型缺陷检测 [74][77] - 光学量测产品(天门山、赤壁山等):采用自研光源、物镜和探测器,为客户提供高产率、高精度和高重复性的套刻量测、X射线光电子能谱量测等解决方案;具备多种量测模式和标记,支持逻辑和存储等工艺的量测 [92][104] - 功率检测产品(RATE系列):具备功率单管、模组和晶圆、功率Die等电性能检测能力,为客户提供高规格、高效率、高兼容的自动化检测解决方案;支持多种检测模式和场景,具备高稳定、高可靠等特点 [118][125][131] 其他重要但是可能被忽略的内容 公司联系邮箱为business@sicarrier.com,邮编为518111,地址是广东省深圳市龙岗区平湖街道平龙西路753号 [138]