公司动态 - Veeco Instruments Inc 宣布其 Lumina® MOCVD 系统已通过 PlayNitride 的认证，用于生产下一代 MicroLED 技术，并已收到两份订单，预计 2025 年交付 [1] - PlayNitride 选择 Veeco 作为合作伙伴，推动其 MicroLED 技术在可穿戴设备、电视、透明显示器和汽车领域的生产和商业化 [2] - Veeco 的 Lumina 系统凭借其卓越的性能和生产效率优势，能够满足市场需求，并支持 PlayNitride 的技术和成本路线图 [2] 技术优势 - Veeco 的 Lumina 系统采用行业领先的 MOCVD TurboDisc 技术，具有优异的厚度和成分均匀性以及低缺陷率，确保高良率 [2] - 该系统支持高通量生产，能够在长时间运行中保持反应器的清洁，并支持无缝晶圆尺寸过渡，可在直径达 8 英寸的晶圆上沉积高质量的砷磷化物 (As/P) 外延层 [2] - Lumina 系统可定制，适用于大规模生产红外 LED、边发射激光器、垂直腔面发射激光器 (VCSEL) 和太阳能电池 [2] 行业地位 - Veeco 是半导体工艺设备的创新制造商，其激光退火、离子束、化学气相沉积 (CVD)、金属有机化学气相沉积 (MOCVD)、单晶圆蚀刻与清洗以及光刻技术在先进半导体器件的制造和封装中发挥关键作用 [3] - Veeco 的设备设计旨在优化性能、良率和拥有成本，在服务市场中占据领先技术地位 [3]