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中芯国际申请晶圆及封装方法专利,保证键合晶圆的边缘芯片区的键合强度
688981中芯国际(688981) 搜狐财经·2025-05-22 10:15

金融界2025年5月22日消息,国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、中 芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为"晶圆及封装方法"的专利,公开号 CN120015637A,申请日期为2023年11月。 专利摘要显示,一种晶圆及封装方法,晶圆包括:衬底;介电层,位于衬底上,介电层背向衬底一侧的 面为键合面;第一键合层,位于中心芯片区的介电层内,且第一键合层露出键合面,第一键合层用于实 现多个晶圆的键合面之间的键合;第二键合层,位于边缘芯片区的介电层内,第二键合层露出键合面, 第二键合层用于实现多个晶圆的键合面之间的键合,且第二键合层的尺寸大于第一键合层的尺寸。在多 个晶圆键合形成键合晶圆时,能够减小键合晶圆的第二键合层因受到套刻精度误差的影响,而使第二键 合层之间的接触面积比第一键合层之间的接触面积小的概率,从而能够保证键合晶圆的边缘芯片区的键 合强度。 来源:金融界 天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,成立于2002年,位于北京市,是一家以从 事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本100000万美元。通过天眼查大数据分 析,中芯国际集成电路 ...