在这座微观立体结构里，金属导线越精细，同一颗芯片上能放的晶体管就越多，芯片性能就越强 大。以3纳米芯片为例，它要求金属导线的粗细做到3纳米，相当于人类一根头发丝的万分之一。 业内把制作这类导线用的金属材料称作靶材。导线越精细，对靶材纯度的要求越高，通常需达到 99.999%或更高。 过去很多年里，全球半导体靶材制备技术高度集中于国外少数几家企业。但这两年，一家来自上海 奉贤的民营企业，凭借十多年自主研发，突破海外技术垄断，超高纯金属靶材产值迅速占据全球市场份 额近两成，使国产半导体参与国际博弈的底气大增。 这样一家细分赛道的"隐形冠军"，是如何炼成的？ 握住关键技术"主动权" 走进位于奉贤工业开发区内的同创普润（上海）机电高科技有限公司展厅，满墙的技术专利证书映 入眼帘，一块块由高纯度金属锭制成的靶材整齐排列，锅盖大小的铝、铜、锰、钽，彼此色泽不一，每 块的纯度都达到了5N（即99.999%，一个N代表一个9）及以上，视觉上质地均匀，光可鉴人。 "锅盖"们虽样貌普通，却是集成电路制作过程中必不可少的材料——在一定的真空环境下，利用荷 能粒子轰击靶材表面，粒子和靶材原子会发生动能交换，使靶材表面溅射出粒子并沉积 ...