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昆泰磁悬浮:让泵“浮”起来实现反超
每日商报·2025-06-05 06:19

昆泰磁悬浮的研发实验室 昆泰磁悬浮研发的磁悬浮分子泵 商报记者骆伊莎 磁悬浮技术,是一种通过磁力使物体实现悬浮的技术。磁悬浮技术之所以科技含量高,主要是其集电磁 学、传感控制、材料科学、流体力学、系统结构设计及集成调试为一体,综合技术壁垒极高。 过去几十年,磁悬浮技术在轨道交通、航天航空、能源等领域已有典型应用,但从这项技术的发展潜能 来看,这些只是刚拉开序幕。 杭州昆泰磁悬浮技术有限公司(以下简称"昆泰磁悬浮")脱胎于北京航空航天大学。在磁悬浮技术领域, 该企业聚焦系列化磁悬浮超高速电机的研发及应用,打破多项国外技术垄断,有力保障了中国半导体、 工业母机等领域供应链的自主安全。 科技之眼 研发半导体制造的"真空心脏" 近日,位于昆泰磁悬浮的设备测试间,研发人员正加紧将新设计的磁悬浮分子泵样机与自主研发设计的 控制器进行联调。完成操作后,这些样机又被送至试验区,进行真空性能、耐久性等一系列测试。据企 业生产负责人介绍,这部分产品订单已经排到了下半年。 磁悬浮分子泵是半导体设备关键工艺的核心零部件,昆泰磁悬浮研发总监韩雪博士将其形象地比喻 为"半导体制造的'真空心脏'"。"半导体芯片制造的核心工艺如刻蚀、离子注 ...