行业背景与市场格局 - 离子注入机是芯片制造四大关键装备之一，技术难度仅次于光刻机，全球90%以上市场份额被4家美日企业垄断 [2] - 中国离子注入机国产化率不足10%，2024年进口量553台（同比+30.12%），其中美国占比77.58%，日本11.57% [13] - 中国离子注入机市场规模从2018年24.73亿元增长至2024年121.26亿元，年均复合增长率达30.34% [9] - 2024年中国大陆半导体设备销售额增速35%领跑全球，离子注入机产量69台，需求量345台 [17] 公司技术与产品进展 - 创始人钟新华拥有20年离子注入机研发经验，曾主导02专项关键技术攻关，实现技术"从0到1"突破 [4][7] - 首台碳化硅离子注入机已于2023年11月下线，硅基中束流机型预计2024年6月下线 [14][18] - 正在研发第二代碳化硅机型（2025年9月面市）和碳化硅大束流机型（2025年底推出），计划3年内实现全机型覆盖 [18] - 产品需精准控制离子注入剂量（个数级）、深度（纳米级）、角度（偏差<0.1度） [5] 产业化挑战与供应链 - 单台设备含近2万个零部件，非标件占比50%，需定制设计，初期供应商因精度/洁净度等苛刻要求拒绝合作 [11][12] - 曾因金属污染导致硅片不达标，需排查上百零部件，现已建立数百家供应商体系和工序检测机制 [12] - 设备验证周期长达2-3个月，客户要求首年免费试用，且需验资等苛刻条件 [15] 资本运作与区域布局 - 2023年获鲁信创投等天使轮融资，2024年超募3000万元，引入毅达资本、源禾资本等机构 [10][17] - 2024年底将公司从广州迁至济南高新区，新工厂已投产，产能全面转向山东 [18] - 单台设备零部件采购成本超千万元，30万伏高压电源单价60万元 [10] 行业前景与发展目标 - 5G/物联网/AI驱动需求，预计离子注入机将迎来新一轮增长周期 [17] - 公司计划工艺产线从碳化硅扩展至硅基，尺寸覆盖6寸到12寸，性能对标国际领先水平 [18] - 中国离子注入机技术追赶国际主流预计仍需10年以上 [18]