光刻机概念板块表现 - 截至6月30日收盘，光刻机概念上涨3.90%，位居概念板块涨幅第3 [1] - 板块内36股上涨，蓝英装备20%涨停，凯美特气、中瓷电子、*ST和科等涨停 [1] - 波长光电、久日新材、国林科技等涨幅居前，分别上涨9.44%、7.81%、7.34% [1] - 今日光刻机概念板块获主力资金净流入7.07亿元 [1] 个股资金流向 - 24股获主力资金净流入，6股主力资金净流入超3000万元 [1] - 蓝英装备主力资金净流入2.79亿元居首，凯美特气、中瓷电子、旭光电子分别净流入2.26亿元、7696.83万元、5610.98万元 [1] - 凯美特气、中瓷电子、蓝英装备主力资金净流入率分别为56.32%、39.09%、31.36% [2] - 波长光电主力资金净流入3484.07万元，净流入率2.38% [2] - 芯碁微装主力资金净流入3075.52万元，净流入率10.53% [2] 其他个股表现 - 电科数字主力资金净流入1853.72万元，净流入率8.35% [3] - 国林科技主力资金净流入1602.48万元，净流入率3.21% [3] - 珂玛科技主力资金净流入1587.46万元，净流入率4.67% [3] - 华特气体主力资金净流入1577.47万元，净流入率9.37% [3] 资金流出个股 - 中润光学主力资金净流出502.50万元，净流出率11.23% [4] - 同飞股份主力资金净流出644.40万元，净流出率2.87% [4] - 新莱应材主力资金净流出733.63万元，净流出率0.57% [4] - 张江高科主力资金净流出787.88万元，净流出率0.73% [4] - 炬光科技主力资金净流出1582.30万元，净流出率5.16% [4]