光刻机概念板块表现 - 截至7月1日收盘，光刻机概念上涨2.34%，位居概念板块涨幅第8位 [1] - 板块内29股上涨，凯美特气、海立股份、旭光电子涨停，蓝英装备、久日新材、中瓷电子涨幅居前，分别上涨14.60%、5.93%、4.55% [1] - 跌幅居前的个股包括腾景科技、电科数字、富创精密，分别下跌3.29%、1.20%、1.11% [1] 资金流动情况 - 光刻机概念板块获主力资金净流入8.25亿元，23股获主力资金净流入 [2] - 5股主力资金净流入超5000万元，旭光电子净流入3.12亿元居首，海立股份、凯美特气、芯碁微装分别净流入2.90亿元、5884.65万元、5303.59万元 [2] - 资金流入比率方面，*ST和科、旭光电子、海立股份居前，主力资金净流入率分别为41.92%、20.54%、18.75% [3] 个股资金流向 - 旭光电子今日涨9.97%，换手率12.69%，主力资金净流入3.12亿元，净流入比率20.54% [3] - 海立股份今日涨9.99%，换手率15.95%，主力资金净流入2.90亿元，净流入比率18.75% [3] - 凯美特气今日涨10.00%，换手率6.27%，主力资金净流入5884.65万元，净流入比率11.97% [3] - 蓝英装备今日涨14.60%，换手率37.69%，主力资金净流入5062.04万元，净流入比率1.69% [3] 其他概念板块表现 - 中船系、细胞免疫治疗、创新药涨幅居前，分别上涨4.90%、3.12%、3.01% [2] - 电子身份证、数字货币、跨境支付(CIPS)跌幅居前，分别下跌2.52%、2.40%、1.77% [2]