计量支撑产业新质生产力发展行动方案 - 市场监管总局和工信部联合印发《计量支撑产业新质生产力发展行动方案(2025—2030年)》，旨在通过计量技术支撑集成电路等产业发展 [1] 集成电路产业计量技术重点突破方向 - 聚焦集成电路核心计量技术支撑，重点攻克扁平化量值传递等技术难题 [1] - 突破晶圆级缺陷颗粒计量测试、集成电路参数标准芯片化技术瓶颈 [1] - 推进3D等先进封装标准物质研制和12英寸晶圆级标准物质研制 [1] 新型计量装置与方法创新 - 布局新型原子尺度计量装置、标准和方法创新 [1] - 围绕几何量、光学、热学、电学等关键参量突破晶圆温度、真空、气体检测和微振动等集成电路计量技术 [1] 集成电路工艺计量与测试评价 - 研究集成电路关键工艺参数在线计量方法 [1] - 开展计量测试评价，形成服务集成电路的计量体系 [1]