专利摘要显示，本发明公开了一种TOPCon电池背面钝化层的制备方法，涉及太阳能电池领域，所述制 备方法包括沉积隧穿氧化层，沉积时间为H1秒；沉积第一Poly‑Si层，温度为T2，通入硅烷、氢气以及 磷烷，并控制炉内压力，预沉积后，通过射频电源进行辉光放电，沉积第一Poly‑Si层，沉积时间为H2 秒；沉积分子筛层，沉积时间为H3秒；预沉积第二Poly‑Si层，温度为T4，通入硅烷、氢气以及磷烷， 并控制炉内压力，预沉积后，通过射频电源进行辉光放电，沉积第一Poly‑Si层，沉积时间为H4秒；沉 积MASK层，沉积时间为H5秒；其中所述温度T1、T2、T3、T4以及T5依次梯度递增。改恒温沉积为变 温沉积，从而控制晶粒的成核与生长速率，实现了材料性能的优化，提高电池片转换效率。 天眼查资料显示，晋能光伏技术有限责任公司，成立于2015年，位于晋中市，是一家以从事电力、热力 生产和供应业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析，晋能光伏技术有限 责任公司参与招投标项目1206次，专利信息262条，此外企业还拥有行政许可91个。 2025年7月29日国家知识产权局信息显示，晋能光伏技术有限责 ...