光刻机概念板块市场表现 - 截至8月6日收盘，光刻机概念板块上涨2.64%，位居概念板块涨幅第9位，板块内32只个股上涨 [1] - 洪田股份和海立股份涨停，炬光科技、中船特气、新莱应材涨幅居前，分别上涨16.21%、8.21%和7.78% [1] - 富创精密、百傲化学、芯碁微装跌幅居前，分别下跌1.02%、1.00%和0.83% [1] 板块资金流动情况 - 光刻机概念板块获主力资金净流入9.01亿元，其中20只个股获主力资金净流入，8只个股主力资金净流入超3000万元 [2] - 海立股份主力资金净流入3.68亿元居首，晶方科技、旭光电子、新莱应材分别净流入2.62亿元、2.14亿元和1.48亿元 [2] - 旭光电子、海立股份、晶方科技主力资金净流入比率居前，分别为20.73%、16.01%和11.40% [3] 个股资金流向明细 - 海立股份换手率16.95%，主力资金净流入3.68亿元 [3] - 晶方科技上涨5.60%，换手率11.76%，主力资金净流入2.62亿元 [3] - 旭光电子上涨5.20%，换手率8.93%，主力资金净流入2.14亿元 [3] - 新莱应材上涨7.78%，换手率18.78%，主力资金净流入1.48亿元 [3] - 中船特气上涨8.21%，换手率12.92%，主力资金净流入4328.81万元 [3] 资金流出个股情况 - 百傲化学下跌1.00%，主力资金净流出2552.25万元，净流出比率达13.55% [5] - 国林科技上涨1.44%，主力资金净流出4172.63万元，净流出比率12.21% [5] - 波长光电上涨1.48%，主力资金净流出4952.83万元，净流出比率6.34% [5] - 张江高科上涨2.90%，主力资金净流出1.24亿元，净流出比率2.54% [5]