板块表现 - 光刻机概念板块8月12日收盘上涨2.26%，位列概念板块涨幅第二位 [1] - 板块内25只个股上涨，海立股份、凯美特气涨停，美埃科技、同飞股份、洪田股份涨幅居前，分别上涨10.34%、8.38%、7.02% [1] - 跌幅居前个股包括中润光学、芯碁微装、思泰克，分别下跌3.56%、3.56%、1.70% [1] 资金流向 - 光刻机概念板块当日获主力资金净流入7.74亿元 [1] - 24只个股获主力资金净流入，其中5只净流入超5000万元 [1] - 海立股份主力资金净流入4.43亿元居首，凯美特气、旭光电子、中船特气分别净流入3.56亿元、3.03亿元、7602.52万元 [1] - 主力资金净流入率前三为凯美特气32.90%、旭光电子18.33%、海立股份11.62% [2] 个股数据 - 海立股份涨停10.00%，换手率21.51%，主力净流入4.43亿元 [2] - 凯美特气涨停9.99%，换手率12.05%，主力净流入3.56亿元 [2] - 旭光电子上涨6.24%，换手率12.79%，主力净流入3.03亿元 [2] - 中船特气上涨6.22%，换手率16.06%，主力净流入7602.52万元 [2] - 大族激光虽上涨2.60%，但主力资金净流出5.26亿元，净流出率8.66% [4]