光刻机概念板块表现 - 截至8月28日收盘，光刻机概念板块上涨5.12%，位居概念板块涨幅第4位 [1] - 板块内38只股票上涨，其中张江高科、洪田股份、凯美特气涨停，思泰克、芯碁微装、茂莱光学涨幅居前，分别上涨15.49%、14.26%、13.71% [1] 资金流向 - 光刻机概念板块获主力资金净流入20.18亿元，其中20只股票获净流入，6只股票净流入超亿元 [2] - 张江高科主力资金净流入8.49亿元居首，凯美特气、蓝英装备、海立股份分别净流入5.19亿元、2.01亿元、1.62亿元 [2] - 张江高科、凯美特气、洪田股份主力资金净流入比率居前，分别为35.66%、25.65%、18.54% [3] 个股表现详情 - 思泰克换手率达40.98%，主力资金净流入1.06亿元 [3][4] - 芯碁微装上涨14.26%但主力资金净流出4901.89万元 [4][5] - 大族激光主力资金净流出1.82亿元，净流出比率达8.25% [5]