光刻机概念板块市场表现 - 截至9月11日收盘，光刻机概念板块整体上涨4.47%，位居概念板块涨幅第9位，板块内39只个股上涨[1] - 炬光科技、腾景科技涨停，涨幅达20%，大族激光涨停，同飞股份、芯碁微装、思泰克涨幅分别为15.73%、10.87%、10.42%[1] - 跌幅居前个股包括久日新材下跌1.26%、*ST和科下跌0.67%、联合化学下跌0.57%[1] 板块资金流向 - 光刻机概念板块获主力资金净流入11.12亿元，其中25只个股获主力资金净流入，7只个股主力资金净流入超5000万元[2] - 大族激光主力资金净流入4.26亿元，净流入比率达14.21%，位居榜首[2][3] - 腾景科技主力资金净流入1.63亿元，净流入比率9.00%，张江高科净流入1.63亿元，净流入比率7.11%，炬光科技净流入1.18亿元，净流入比率9.11%[2][3] 个股资金流入详情 - 芯碁微装主力资金净流入7749.91万元，净流入比率3.83%，晶方科技净流入7453.04万元，净流入比率6.59%[3] - 洪田股份主力资金净流入5213.12万元，净流入比率7.18%，新莱应材净流入4120.81万元，净流入比率3.97%[3][4] - 电科数字主力资金净流入3437.23万元，净流入比率4.32%，江丰电子净流入2934.61万元，净流入比率3.66%[4] 资金流出个股情况 - 联合化学主力资金净流出1287.80万元，净流出比率达10.77%，久日新材净流出2161.93万元，净流出比率9.72%[5] - 富乐德主力资金净流出2438.41万元，净流出比率10.54%，凯美特气净流出3762.71万元，净流出比率3.59%[5] - 赛微电子主力资金净流出5820.95万元，净流出比率4.00%[5]