光刻机概念股表现 - 波长光电20%涨停 鸿利智汇涨超16% 茂莱光学和苏大维格涨超10% 永新光学和奥普光电涨停[1] 国产光刻机需求驱动因素 - 国内晶圆厂建设潮及美国出口管制推动光刻机国产化进程[1] - 大陆12英寸晶圆厂月产能将从2023年217万片增长至2026年底超414万片[1] - 人工智能发展大幅提升国内先进制程产能需求[1] - 光刻机购置成本占芯片产线设备总投资21%-23%[1] 产业链投资机会 - 国产光刻机产业链在政策支持与进口替代背景下具备成长潜力[1] - 建议关注光刻机核心零部件供应商：茂莱光学 英诺激光 苏大维格 芯碁微装[1]