光刻机概念板块市场表现 - 截至9月17日收盘，光刻机概念板块上涨3.30%，位居概念板块涨幅首位，板块内33只个股上涨[1] - 波长光电以20%涨幅涨停，永新光学、凯美特气同样涨停，苏大维格、鸿利智汇、赛微电子分别上涨14.66%、11.40%、8.38%[1] - 跌幅居前的个股包括沃格光电下跌4.58%、洪田股份下跌1.26%、大族激光下跌0.99%[1] 板块资金流动情况 - 光刻机概念板块当日获主力资金净流入17.94亿元，27只个股获净流入，其中6只净流入超亿元[2] - 凯美特气主力资金净流入7.72亿元居首，波长光电、张江高科、赛微电子分别净流入3.59亿元、1.29亿元、1.18亿元[2] - 资金流入比率最高的个股为凯美特气（48.64%）、永新光学（43.51%）、波长光电（31.66%）[3] 个股资金数据明细 - 凯美特气（002549）换手率12.86%，主力净流入7.72亿元；波长光电（301421）换手率27.87%，净流入3.59亿元[3] - 张江高科（600895）换手率5.45%，净流入1.29亿元；赛微电子（300456）换手率15.81%，净流入1.18亿元[3] - 苏大维格（300331）换手率34.02%，净流入1.08亿元；炬光科技（688167）换手率11.74%，净流入1.02亿元[3] 资金流出个股情况 - 大族激光（002008）主力资金净流出1.08亿元，换手率5.72%[5] - 芯碁微装（688630）净流出5085万元，换手率6.33%；富创精密（688409）净流出4980万元，换手率4.98%[5] - 沃格光电（603773）净流出2447万元，换手率6.98%；同飞股份（300990）净流出2358万元，换手率7.67%[5]