行业概述 - 射频电源是一种利用射频电流的高频电磁波实现能量传输的装置 工作频率在2MHz到60MHz之间 主要应用于半导体制造 平板显示器生产及薄膜太阳能电池加工领域[4] - 根据功率放大器类型不同 射频电源可分为电子管射频电源和晶体管射频电源(全固态射频电源)[4] - 射频电源在半导体制造中用于薄膜沉积 刻蚀 离子注入 干法清洗等核心工艺环节 其性能直接影响芯片制造质量与效率[5] 市场规模 - 全球半导体射频电源行业市场规模从2018年的4.84亿美元增长至2024年的8.03亿美元 年复合增长率为8.8%[7] - 预计2026年全球半导体射频电源行业市场规模将增长至10.38亿美元[7] - 中国半导体射频电源行业市场规模从2022年的6.52亿元增长至2024年的8.55亿元 年复合增长率为14.48%[9] - 预计2026年中国半导体射频电源行业市场规模将增长至10.98亿元[9] 产业链结构 - 产业链上游包括电感 电阻 电容 二极管 三极管 变压器 模拟IC 数字IC 面板 散热器 射频信号源 射频功率放大器 阻抗匹配器等原材料及零部件[6] - 产业链中游为半导体射频电源的生产制造环节[6] - 产业链下游为半导体领域应用 包括等离子刻蚀设备 薄膜沉积 等离子掺杂设备 等离子清洗/去胶设备等[6] - 射频功率放大器是半导体射频电源的核心部件 2024年全球市场规模达62.54亿美元 预计2031年将增长至99.76亿美元 年复合增长率达6.9%[7] 竞争格局 - 全球半导体射频电源供应高度集中于美国 日本等发达地区 北美和日本合计占全球近60%的市场份额[7][9] - 第一梯队包括万机仪器 美国Advanced Energy(优仪) 日本大阪变压器株式会社等国际企业[10] - 第二梯队包括通快 康姆艾德 京三制作所 爱发科 日本电子株式会社等企业[10] - 第三梯队包括北方华创 英杰电气 恒运昌 达利凯普 励兆科技等国内企业[10] - 国内市场长期被国外企业主导 国产化率处于较低水平[9] 国产化进展 - 在半导体设备国产化战略推动下 国内企业逐渐崭露头角[9] - 北方华创2020年收购射频应用技术相关资产 提升在射频电源细分领域的核心竞争力[12] - 国内企业凭借下游设备厂商支持 陆续实现批量订单突破 推动国产替代进程加速[9] 企业表现 - 英杰电气研发生产的特种电源系列产品包括射频电源等 2025年上半年电源模块及系统营业收入为2.05亿元 同比下降5.53%[10] - 北方华创2025年上半年营业收入为161.42亿元 同比增长29.51%[12] - 相关上市企业包括北方华创(002371) 英杰电气(300820) 达利凯普(301566)等十余家企业[2] 发展趋势 - 高性能方向：向高频 高功率 多通道集成技术发展 提升输出精度 频率稳定性及功率控制能力[13] - 低功耗方向：采用氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)等新型宽禁带半导体材料 应用智能功率调制技术和动态能量管理系统[14] - 可靠性方向：从材料 设计与工艺等多方面增强产品环境适应性与长期耐用性 引入故障预测与健康管理(PHM)技术[15] 发展背景 - 中国半导体行业市场规模从2015年的26385.73亿元增长至2024年的47344.73亿元 年复合增长率为6.71%[6] - 美国多次出台出口管制措施 限制先进制程芯片与半导体制造设备出口 使国产自主化紧迫性大幅提升[6] - 国家出台《制造业可靠性提升实施意见》等多部政策支持半导体行业发展[6]