光刻机概念板块整体表现 - 截至10月13日收盘，光刻机概念板块整体上涨3.20%，位列概念板块涨幅第三位 [1] - 板块内共有32只股票上涨，其中新莱应材涨停，涨幅为20%，旭光电子、凯美特气、*ST和科等股票亦涨停 [1] - 江丰电子、富创精密、国林科技涨幅居前，分别上涨14.54%、13.50%、13.39% [1] - 蓝特光学、大族激光、腾景科技跌幅居前，分别下跌5.01%、3.72%、3.00% [1] 板块资金流向 - 光刻机概念板块当日获得主力资金净流入0.81亿元 [2] - 板块内19只股票获得主力资金净流入，其中5只股票主力资金净流入超过5000万元 [2] - 凯美特气主力资金净流入居首，达2.52亿元，富创精密、旭光电子、波长光电紧随其后，分别净流入1.36亿元、9994.69万元、8793.53万元 [2] 个股资金流入比率 - 富创精密、凯美特气、南京化纤的主力资金净流入比率居前，分别为9.70%、9.58%、8.95% [3] - 波长光电换手率高达41.04%，国林科技换手率为33.07% [3][4] - 部分股票如芯碁微装、沃格光电、东方嘉盛出现主力资金净流出，净流出比率分别为-13.09%、-10.06%、-7.04% [4][5]