光刻机概念板块市场表现 - 截至10月15日收盘，光刻机概念板块整体下跌0.73%，在概念板块跌幅榜中位居前列 [1] - 板块内个股表现分化，股价上涨的有25只，其中*ST和科、电科数字、中润光学涨幅居前，分别上涨4.98%、3.79%、3.53% [1] - 新莱应材、联合化学、国林科技等个股跌幅居前 [1] 板块资金流向 - 光刻机概念板块当日遭遇主力资金净流出，净流出总额为15.26亿元 [2] - 板块内37只个股呈现主力资金净流出，其中9只个股净流出金额超过5000万元 [2] - 新莱应材主力资金净流出额居首，达3.25亿元，凯美特气、张江高科、江丰电子紧随其后，分别净流出2.26亿元、1.54亿元、1.38亿元 [2] - 赛微电子、大族激光、电科数字获得主力资金净流入居前，净流入金额分别为2709.92万元、2369.81万元、2015.97万元 [2] 重点个股交易数据 - 新莱应材股价下跌12.16%，换手率为30.20%，主力资金净流出3.25亿元 [2] - 凯美特气股价下跌5.12%，换手率为26.81%，主力资金净流出2.26亿元 [2] - 张江高科股价微涨0.62%，换手率为4.61%，但主力资金净流出1.54亿元 [2] - 江丰电子股价下跌4.36%，换手率为9.70%，主力资金净流出1.38亿元 [2]