光刻机概念板块整体表现 - 截至10月16日收盘，光刻机概念板块整体下跌2.47%，位居概念板块跌幅榜前列 [1] - 板块内股价上涨的股票仅有5只，下跌股票数量占绝大多数 [1] - 在当日所有概念板块涨跌幅排名中，光刻机概念与光刻胶概念（-2.31%）均表现疲弱，位列跌幅榜前端 [1] 个股价格表现 - 联合化学股价20%跌停，茂莱光学下跌6.38%，南京化纤下跌6.19%，凯美特气下跌4.99% [1] - 涨幅居前的个股包括中润光学上涨5.32%，中光防雷上涨4.25%，炬光科技上涨0.87% [1] 主力资金流向 - 光刻机概念板块整体获得主力资金净流出12.39亿元 [1] - 板块内37只股票遭遇主力资金净流出，其中5只股票净流出金额超过1亿元 [1] - 新莱应材主力资金净流出2.23亿元，联合化学净流出1.70亿元，凯美特气净流出1.62亿元，张江高科净流出1.50亿元 [1] - 资金净流入居前的个股为江丰电子净流入1.15亿元，炬光科技净流入8544.51万元，中光防雷净流入1911.96万元 [1] 重点个股资金与交易数据 - 新莱应材下跌3.74%，换手率23.84%，主力资金净流出22294.58万元 [1] - 联合化学下跌20.00%，换手率8.75%，主力资金净流出17013.95万元 [1] - 波长光电下跌3.58%，换手率19.95%，主力资金净流出11148.26万元 [1] - 江丰电子微涨0.10%，换手率8.09%，主力资金净流入11509.55万元 [3] - 炬光科技上涨0.87%，换手率5.00%，主力资金净流入8544.51万元 [3]