市场表现 - 光刻胶概念股于27日盘中大幅拉升 晶瑞电材20%涨停 迦南科技和南大光电涨幅超过13% 艾森股份涨逾12% 格林达与彤程新材亦涨停 [1] 行业标准进展 - 中国首个极紫外光刻胶标准《极紫外光刻胶测试方法》于10月23日作为拟立项标准开始公示 截止时间为11月22日 [1] - 该标准的起草单位包括上海大学、张江国家实验室、上海华力集成电路制造有限公司、上海微电子装备股份有限公司 [1] 技术突破 - 北京大学彭海琳教授团队与合作者通过冷冻电子断层扫描技术 首次在原位状态下解析了光刻胶分子在液相环境中的微观三维结构、界面分布与缠结行为 [1] - 该研究指导开发出可显著减少光刻缺陷的产业化方案 相关论文发表于《自然·通讯》 [1] - 冷冻电子断层扫描技术为在原子或分子尺度上解析液相界面反应提供了强大工具 [2] - 深入掌握液体中聚合物的结构与微观行为 可推动先进制程中光刻、蚀刻和湿法清洗等关键工艺的缺陷控制与良率提升 [2] 市场规模与产业链影响 - 2024年中国光刻胶市场规模增长至114亿元人民币以上 预计2025年市场规模可达123亿元人民币 [2] - 光刻胶是半导体、印制电路板、平板显示等行业的基础材料 其技术进步可促进相关产业链协同发展 [2] - 产业链上游的材料供应商与设备制造商 中游的光刻胶生产企业 以及下游的产品应用企业均能从中受益 [2]