中证报中证网讯(记者齐金钊)据上交所网站消息，上海证券交易所上市审核委员会定于11月14日召开 2025年第54次上市审核委员会审议会议。届时将审议深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(简称"恒运 昌")的首发事项。招股书显示，恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，公司半导体级等离 子体射频电源系统目前已实现大规模收入，产品性能获得市场认可。 在半导体设备细分领域地位领先 研发创新驱动业绩高速增长 作为一家拟在科创板上市的"硬科技"，恒运昌在研发方面保持了较高强度的投入。招股书显示，过去三 年，公司研发投入持续高增长，2022年至2024年研发投入分别达到2154.21万元、3696.37万元和5528万 元，占营收比例均超10%。2025年上半年公司研发费用达4330.84万元，较上年同期增长72.63%。 恒运昌在招股书中表示，经过十多年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展、行业需求为导 向，围绕等离子体射频电源系统更快速、更精准、更稳定的应用要求和技术难点，构建了完善的技术体 系，从测量、控制到架构形成了3大基石技术及8大产品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、 同步控制、快速调频、脉冲 ...