光刻机概念板块市场表现 - 截至12月23日收盘，光刻机概念板块整体上涨2.11%，位居所有概念板块涨幅第一 [1] - 板块内共有28只股票上涨，其中美埃科技、同飞股份、中光防雷三只股票涨停（涨幅20%） [1] - 涨幅居前的个股包括珂玛科技（上涨9.70%）、腾景科技（上涨8.86%）、茂莱光学（上涨6.09%） [1] - 跌幅居前的个股包括百傲化学（下跌5.29%）、电科数字（下跌2.54%）、中瓷电子（下跌1.96%） [1] 板块资金流向 - 当日光刻机概念板块获得主力资金净流入1.61亿元 [2] - 板块内20只股票获得主力资金净流入，其中7只股票主力资金净流入超过5000万元 [2] - 主力资金净流入额最高的个股是中光防雷，净流入3.68亿元 [2] - 其他主力资金净流入额居前的个股包括腾景科技（净流入2.21亿元）、同飞股份（净流入1.48亿元）、美埃科技（净流入9119.47万元） [2] 个股资金流入比率 - 中光防雷的主力资金净流入比率最高，达到31.95% [3] - 美埃科技和同飞股份的主力资金净流入比率分别为15.69%和14.88% [3] - 根据详细榜单，主力资金净流入比率较高的个股还包括国林科技（11.53%）、先锋精科（10.03%）、苏大维格（9.27%） [4][5] 相关概念板块表现 - 当日涨幅居前的概念板块包括氟化工概念（上涨1.80%）、光刻胶（上涨1.61%）、PET铜箔（上涨1.57%）、中芯国际概念（上涨1.57%）等 [2] - 当日跌幅居前的概念板块包括太赫兹（下跌2.72%）、军工信息化（下跌2.54%）、DRG/DIP（下跌2.53%）等 [2]