公司专利动态 - 应用材料公司在中国取得一项名为“基板支撑件、处理基板的方法、以及处理系统”的专利 [1] - 该专利授权公告号为CN116917533B，申请日期为2021年2月 [1] 行业技术发展 - 专利内容涉及半导体制造设备中的关键部件与工艺方法，具体为基板支撑和处理技术 [1]