深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统（等离子体射频电源 及匹配器）、等离子体激发装置（远程等离子体源、射频离子源）、等离子体直流电源、配件（滤波器、阻抗 调整器等），引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件；同时还为 晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。 截至招股意向书签署日，恒运昌投资持有公司25.8179%股份，为公司控股股东。公司实际控制人为乐卫 平。乐卫平直接持有恒运昌11,721,312股股份，直接持股比例为23.0866%，并通过恒运昌投资、投资中心、投 资发展中心分别间接控制恒运昌25.8179%、20.7787%和3.1895%的股份表决权，合计控制恒运昌72.8727%的股 份表决权。同时，乐卫平报告期内担任恒运昌的董事长和总经理，是恒运昌实际控制人。 恒运昌2026年1月8日披露的招股意向书显示，公司拟募集资金146,900.00万元，分别用于沈阳半导体射频电 源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项 目、营销 ...