我国成功研制首台串列型高能氢离子注入机
人民日报·2026-01-20 06:30
核心观点 - 中国原子能科学研究院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机成功出束,核心指标达到国际先进水平,标志着我国已全面掌握该设备的全链路研发技术,并攻克了功率半导体制造链关键环节 [1] 技术突破与研发成果 - 原子能院完全掌握了串列型高能氢离子注入机从底层原理到整机集成的正向设计能力 [1] - 此次成功研制打破了国外企业在高能氢离子注入机领域的技术封锁和长期垄断 [1] - 该成果是核技术与半导体产业深度融合的重要成果 [1] 行业意义与影响 - 离子注入机是半导体制造关键设备,尤其是高能氢离子注入机研发难度大、技术壁垒高,我国长期依赖进口 [1] - 此次突破将有力提升我国在功率半导体等关键领域的自主保障能力 [1] - 为推动高端制造装备自主可控、保障产业链安全奠定坚实基础 [1]