应用材料取得磁固定件及基板支撑组件专利
公司专利动态 - 应用材料公司在中国取得一项名为“磁固定件、基板支撑组件和用于将边缘支撑框架固定到工作台框架的方法”的专利 [1] - 该专利授权公告号为CN116368435B [1] - 专利申请日期为2020年10月 [1] 行业技术发展 - 专利内容涉及半导体制造设备中的关键部件，具体为基板支撑组件及其固定方法 [1] - 技术方案旨在改进工作台框架与边缘支撑框架之间的固定方式 [1]
公司专利动态 - 应用材料公司在中国取得一项名为“磁固定件、基板支撑组件和用于将边缘支撑框架固定到工作台框架的方法”的专利 [1] - 该专利授权公告号为CN116368435B [1] - 专利申请日期为2020年10月 [1] 行业技术发展 - 专利内容涉及半导体制造设备中的关键部件，具体为基板支撑组件及其固定方法 [1] - 技术方案旨在改进工作台框架与边缘支撑框架之间的固定方式 [1]