黄渤海新区高纯乙硅烷实现自主量产
大众日报·2026-01-28 10:03
公司核心进展 - 万华电子材料公司自主研发的高纯度乙硅烷实现规模化、稳定化量产,标志着我国在高端电子特气领域攻克了一项“卡脖子”关键技术 [1] - 公司采用自主研发的硅化镁法工艺,将乙硅烷合成率稳定提升至30%以上,量产产品纯度超过99.998%(4.8N)[1] - 公司已建成全球单套产能最大的乙硅烷生产装置 [1] - 公司以乙硅烷为切入点,力求实现集成电路产业关键材料的国产替代,并形成了具有完全自主知识产权的工艺包 [1] 产品技术与市场地位 - 乙硅烷是14纳米以下先进制程,尤其是存储芯片堆叠中的关键材料 [1] - 乙硅烷凭借在沉积温度、速率及薄膜质量上的优势,已成为3D NAND、FinFET等先进芯片结构的核心材料 [2] - AI算力爆发驱动先进制程加速迭代,乙硅烷市场前景被普遍看好 [2] - 高纯度乙硅烷的自主量产,奠定了公司在国内电子特气行业的技术领先地位,使其在未来竞争中占得先机 [2] 公司发展战略 - 公司下一步将继续扎根乙硅烷,拓展电子特气,并打造“一站式”服务平台 [2] - 公司在助力中国半导体产业发展的同时,计划加速拓展全球市场 [2] 区域产业生态 - 烟台黄渤海新区将特色半导体列为两大战略性新兴产业之一进行大力培育,聚焦光电半导体、功率半导体两大主攻方向 [2] - 新区已形成“材料—设计—封测—应用”的完整半导体产业链条 [2] - 2025年,全区特色半导体产业实现稳步增长 [2]