核心观点 - 半导体量测与过程控制解决方案领先创新者Nova宣布其Nova Metrion平台获得全球领先的存储器和逻辑器件制造商的采用 [1] - 该平台被采购用于全环绕栅极和先进DRAM器件生产 旨在帮助客户加速提升器件性能与良率 [1] - 此次采用标志着Nova Metrion在市场渗透方面取得重大里程碑 公司将其材料量测业务拓展至当前驱动半导体增长的两个最关键技术拐点领域 [2] 产品与技术 - Nova Metrion是首个经过验证可用于在线生产过程控制的完全自动化二次离子质谱系统 [4] - 该平台支持全晶圆映射 缩短反馈时间 并通过近乎实时地识别工艺偏差来防止报废和昂贵的返工 从而实现快速投资回报 [4] - 系统在工厂内部完成通常在实验室进行的重复性测量 独特地满足了统计过程控制对时间敏感信息的关键需求 [4] - 系统专为逻辑和存储器器件复杂薄膜堆叠的过程控制提供高精度量测结果 通过测量化学物质浓度随深度的精确变化来生成成分分布图 用于监控掺杂浓度、注入均匀性和污染水平等重要特性 [4] 市场与客户 - 采用Nova Metrion的客户是全球领先的存储器和逻辑器件生产商 [1] - 该平台被采购用于全环绕栅极和先进DRAM器件生产 [1] - 此次在两大关键领域的采用 证明了公司的产品组合实力及其与客户需求的契合度 [3] 公司业务与战略 - Nova是先进半导体制造中材料、光学和化学量测与过程控制解决方案的关键供应商和领先创新者 [5] - 公司通过提供先进的、高性能的量测解决方案 在整个半导体制造生命周期内实现有效过程控制 从而持续创新 [5] - 公司产品组合结合了高精度硬件和尖端软件 为客户在开发和生产最先进半导体器件方面提供深度洞察 [5] - 公司提供创新解决方案的独特能力 能帮助客户提升性能、提高产品良率并加速产品上市时间 [5] - 公司致力于通过技术领导力实现可持续增长 [3]