2026年中国高纯三氯化硼行业产业链、市场规模及发展趋势研判:先进制程驱动行业开展“纯度”竞赛,攻克合成与痕量杂质核心技术成行业决胜关键[图]
产业信息网·2026-02-07 09:32

行业核心观点 - 中国高纯三氯化硼行业处于国产化替代攻坚与产业升级并举的关键发展期 市场规模在2024年达到32.22亿元 同比增长6.72% [1][7] - 随着先进半导体制程向3纳米及以下演进 对气体纯度的要求已从5N向5N5 6N乃至更高等级发展 技术壁垒持续提升 [1][7][9] - 国产化替代是确定性的战略主线 将推动市场份额向少数技术实力雄厚的头部企业集中 市场集中度加速提升 [11] 行业概述与定义 - 高纯三氯化硼指纯度≥99.999%(5N级)的三氯化硼 是半导体 光电等高端制造中的关键电子特气 [2] - 主要用作硅片的p型掺杂源 干法蚀刻剂以及铝/镁合金的提纯剂等 属于战略级高纯化学品 [2] 行业产业链 - 产业链上游主要包括硼矿及硼化合物 氯气 催化剂 吸附剂 生产设备等原材料 [4] - 产业链中游为高纯三氯化硼生产制造环节 [4] - 产业链下游主要应用于半导体 显示面板 光伏 量子计算 新能源电池等领域 [4] - 2024年中国硼矿产量约为34万吨 同比增长13.33% 但国内大部分为低品位硼镁石矿 用于高端半导体的“电子级”硼源仍需复杂提纯技术 [5] 市场规模与驱动因素 - 2024年中国高纯三氯化硼行业市场规模为32.22亿元 同比增长6.72% [1][7] - 2025年中国集成电路产量为4843亿块 同比增长7.28% 作为半导体制造核心特种气体 其消耗量形成最稳定 最刚性的需求拉动 [7] 重点企业经营情况 - 大连科利德通过自主创新已率先实现6.5N级(纯度99.99995%)产品的产业化 产品成功应用于12英寸3纳米等先进制程 [7][9] - 中船特气(688146)具备电子特种气体及含氟新材料等70余种产品的生产能力 2025年前三季度营业收入为16.07亿元 同比增长14.90% 归母净利润为2.45亿元 同比增长3.98% [8] - 和远气体(002971)旗下潜江电子特气产业园产品包含电子级三氯化硼等 2025年前三季度营业收入为12.32亿元 同比增长3.32% 归母净利润为0.58亿元 同比下降1.86% [8] 行业发展趋势 - 技术壁垒持续提升 纯度与稳定性成为竞争制高点 竞争的焦点集中在提供纯度更高 批次稳定性更强 满足先进工艺特殊配方需求的产品上 [9] - 产业链纵向整合与横向拓展成为主流战略 龙头企业采取“纵向深耕+横向扩张”的复合战略 旨在构建完整价值链并提供一站式解决方案 [10] - 市场集中度在国产替代浪潮中加速提升 掌握关键技术和先发认证优势的领先企业将构筑强大护城河 预计将形成少数国内龙头企业主导高端市场的格局 [11]

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