文章核心观点 - 2024年第一季度Axcelis Technologies向中国几家领先功率器件芯片制造商多次发运Purion M™ SiC中电流注入机用于150mm碳化硅功率器件生产 该产品架构灵活且有高温能力优势 利于芯片制造商扩产提效 [1][2] 公司动态 - Axcelis Technologies向中国几家领先功率器件芯片制造商多次发运Purion M™ SiC中电流注入机 设备用于150mm碳化硅功率器件生产 支持汽车、工业、能源等应用 [1] 公司高管观点 - 公司总裁兼CEO Russell Low表示将支持客户扩大碳化硅功率器件制造能力 该产品架构灵活且有高温能力优势 适合该应用领域 [2] - 公司营销与应用执行副总裁Greg Redinbo称Purion M SiC工具剂量和能量范围广 适合晶圆厂生产初期 为后续产品引入奠定基础 整个Purion Power Series家族产品可提高晶圆厂生产率、降低拥有成本并制造更先进碳化硅功率器件 [2] 公司介绍 - Axcelis总部位于马萨诸塞州贝弗利 45年来一直为半导体行业提供创新、高生产率解决方案 专注于离子注入系统的设计、制造和全生命周期支持 [3] 联系方式 - 编辑/媒体联系Maureen Hart 电话978.787.4266 [4] - 投资者关系联系Doug Lawson 电话978.787.9552 [4]