半导体设备产业综述 - 全球半导体行业市场规模:2023年全球半导体市场低迷,预计2024年市场开始进入上行周期 [13][16][17] - 全球半导体行业周期性:技术驱动10年长周期,资本开支驱动3-4年短周期 [21][24] - 半导体设备:晶圆制造投资量占比超80%,其中光刻设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备为核心 [25][26][27][28] - 半导体设备投资额:集成电路设备投资额随制程节点先进程度提升而大幅增长 [29][30][31][32][33] - 半导体设备国产替代:美日荷先进半导体设备封锁,中国半导体设备国产替代势在必行 [34][35][36][37] - 半导体设备国产替代:中国晶圆厂半导体设备国产化率已提升至35%,预计2025年达50% [7][8] 薄膜沉积设备行业现状 - 薄膜沉积设备:半导体制造关键设备,其技术可分为CVD、PVD和ALD三大类 [39][40][41] - CVD设备:PECVD应用最为广泛,ALD则面向先进制程应用 [42] - PVD设备:磁控溅射PVD应用范围最为广泛,发展前景可观 [43][45] - 薄膜沉积技术:薄膜种类繁多且工艺复杂构筑高技术壁垒,未来向低温、更高集成度发展 [46][47][48][49][50] - 薄膜沉积设备需求端:芯片制程升级,推动薄膜沉积设备需求大幅增长 [11] - 薄膜沉积设备市场:2023年全球市场规模达260亿美元,市场被海外厂商所垄断 [9][10][51][52][53][54] - 国产薄膜沉积设备厂商产品布局:产品布局较为分散,厂商间进行差异化竞争 [55][56][57][58][59][60][61] 薄膜沉积设备企业推荐 - 拓荆科技:国产CVD设备领军企业 [63][64] - 北方华创:国资背景的PVD设备龙头企业 [65][66] - 微导纳米:国产ALD设备领军企业 [67]