报告摘要 - 预计全球半导体量/检测设备市场将在2024年上半年开始回暖,然而中国大陆市场的恢复性增长将滞后半年到一年 [14] - 中国晶圆检测设备厂商基本实现了28nm及以上制程产品的初步覆盖 [15][16] - 全球半导体量/检测市场呈现高度垄断格局,科磊半导体(KLA)市占率超50% [17] 行业综述 - 半导体过程控制(量/检测)设备是保证芯片生产良品率的关键 [19][20] - 半导体检测可分为前道检测、后道检测和实验室检测 [22][23][28] - 量/检测技术主要包括光学检测技术、电子束检测技术和X光量测技术 [30][31][32][36] - 全球半导体行业呈现典型周期性,技术驱动10年长周期,资本开支驱动3-4年短周期 [38][39][42] 产业链分析 - 产业链上游主要为高精度运动与控制系统类和光学类零部件,主要从日本和德国等海外供应商采购 [65][70] - 中国晶圆检测设备厂商产品已覆盖多个细分领域,但与海外头部厂商相比仍存在差距 [74][76][79][80] - 中国晶圆厂在12英寸晶圆领域快速扩产,总体规划产能达417.3万片/月 [81][82][86] 政策环境 - 国家层面出台多项政策支持半导体设备行业发展,地方政府也出台相关扶持政策 [89][90][94][95] 市场规模 - 2023年全球半导体设备市场规模同比下降1.3%至1,063亿美元,预计2024年将迎来复苏 [98][99][103] - 2023年全球半导体量/检测设备市场规模达128.3亿美元,中国大陆市场规模为42.3亿美元 [106][107][115][121] 行业驱动因素及发展趋势 - 中国大陆晶圆厂产能爬坡、美日荷半导体设备出口管制、制程节点提升等是行业驱动因素 [126][138][145][146] - 光学检测分辨率提高、多系统组合、大数据检测算法、提高检测速度和吞吐量是发展趋势 [150][151][152][155][156] 竞争格局 - 全球半导体量/检测设备市场集中度较高,中国市场国产化率仍较低 [159][163][165] - 中国大陆晶圆检测设备厂商已推出设备精度多为μm级别,nm级别精度产品多在研发或验证中 [166][167] 重点企业 - 中科飞测是国内半导体质量控制设备龙头,产品线持续扩充 [169][170][171] - 诚锋科技专注半导体视觉外观检测及前道YE图形检测设备,实现核心设备国产替代 [172][173][179][180] - 上海精测聚焦半导体前道检测设备,多款产品已获批量订单 [182][183][184][185]