行业投资评级 - 报告行业投资评级为"优于大市"，预期行业整体回报高于基准指数整体水平10%以上 [44] 行业核心观点 - 2024年全球半导体设备市场规模将达到1090亿美元,中国大陆半导体设备市场规模在全球的占比逐年提升,2024年将超过350亿美元,占全球市场32% [2] - 看好国内平台型半导体设备公司的业绩持续兑现,以及在部分细分领域攻坚克难突破"卡脖子"环节的国产设备厂商 [2] 北方华创 - 北方华创位列全球第七大半导体设备制造商,国内第一 [5] - 2024年上半年,北方华创实现营收123.35亿元,同比增长46.38%,实现归母净利27.81亿元,同比增长54.54% [9] - 公司专注于半导体基础产品的研发、生产、销售和技术服务,在高端电子工艺装备及精密电子元器件两大主业板块持续保持国内领先地位 [10] - 公司成功研发出多款具有自主知识产权的高端设备,如HDPCVD、双大马士革CCP刻蚀机、立式炉ALD、高介电常数ALD等,并在多家客户端实现稳定量产 [10] 中微公司 - 2024年上半年,中微公司实现营收34.48亿元,同比增长36.46%,实现归母净利5.17亿元,同比下降48.48% [13] - 公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可,刻蚀设备收入占比由上年同期的68.16%提升至78.26% [14] - 公司新签订单动能充足,LPCVD等新产品开始启动放量,在研项目涵盖六类设备,20多个新设备正在开发 [16] 拓荆科技 - 2024年上半年,拓荆科技实现营收12.67亿元,同比增长26.22%,实现归母净利1.29亿元,同比增长3.64% [18] - 公司持续高强度研发投入,推进产品产业化和各产品系列迭代升级,新产品及新工艺经下游用户验证导入,收入稳步增长 [21] - 公司新签销售订单及出货金额均同比大幅增加,第二季度新签订单环比第一季度亦有大幅增加,在手销售订单充足 [21] 华海清科 - 2024年上半年,华海清科实现营收14.97亿元,同比增长21.23%,实现归母净利4.33亿元,同比增长15.65% [23] - 公司是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体装备供应商,在纳米级抛光、膜厚在线检测、超洁净清洗等关键技术层面取得突破 [26] - 公司高度重视CMP产品的技术和性能升级,推出满足更多材质工艺和更先进制程要求的新产品,持续推进面向更高性能、更先进节点的CMP装备开发 [26] 芯源微 - 2024年上半年,芯源微实现营收6.94亿元,同比下降0.29%,实现归母净利0.76亿元,同比下降43.88% [28] - 公司在前道涂胶显影技术、前道化学清洗技术等多项技术上持续取得创新与突破,新一代超高产能架构涂胶显影机FTEX研发取得良好进展 [31] - 公司化学清洗机在化学液高精度槽混技术、喷嘴动态扫描喷液技术、化学液循环精确控温技术等多项核心技术上持续取得进步和突破 [31] 万业企业 - 2024年上半年,万业企业实现营收2.01亿元,同比下降48.37%,实现归母净亏损7081万元 [33] - 公司专注于半导体集成电路设备领域,积极践行"1+N"半导体设备产品平台化战略,形成了拥有完整知识产权体系、自主可控核心技术的丰富产品矩阵 [36] - 控股子公司凯世通是国内集成电路离子注入机高端装备领先企业,其低能大束流离子注入机系列产品已批量应用于国内主流12英寸晶圆厂生产线 [36]