华海清科:关于第500台CMP装备出机的自愿性披露公告
新产品和新技术研发 - 2014年公司推出国内首台拥有核心自主知识产权的12英寸CMP商用机型[3] 业绩总结 - 公司第500台12英寸化学机械抛光(CMP)装备出机并交付国内某先进集成电路制造商[2][3] - 公司CMP装备已基本覆盖国内12英寸集成电路大生产线[3]
新产品和新技术研发 - 2014年公司推出国内首台拥有核心自主知识产权的12英寸CMP商用机型[3] 业绩总结 - 公司第500台12英寸化学机械抛光(CMP)装备出机并交付国内某先进集成电路制造商[2][3] - 公司CMP装备已基本覆盖国内12英寸集成电路大生产线[3]