董事会人事变动 - 2026年2月13日董事会会议提名雷震霖等为独立董事候选人[1] - 2026年3月4日股东会选举雷震霖等为独立董事[1][2] - 2026年3月4日董事会会议同意增补其为专门委员会委员[4] 委员会任职安排 - 马德芳任审计委员会主任委员[4] - 雷震霖任提名与薪酬委员会主任委员[4] - 王同庆任战略与ESG委员会主任委员[4]

股东会信息 - 2026年第二次临时股东会于3月4日召开，2月14日董事会决议召集[5][9] - 采取现场和网络投票，现场在天津召开[9] 参会情况 - 现场7名股东代表108,849,720股，占30.8620%[13] - 网络291名股东代表82,002,839股，占23.2502%[14] 审议选举 - 审议通过提名独立董事议案[17] - 雷震霖、马德芳、王浩当选，同意率超99%[17][20][23]

会议基本信息 - 2026年3月4日在天津召开股东会[4] - 出席会议股东及代理人298人[3] - 见证律所是北京市中伦律师事务所[10] 股权相关数据 - 出席股东表决权占比54.1122%[3] - 总股本353,651,991股，回购账户954,151股无表决权[3] 人员选举 - 雷震霖、马德芳、王浩当选独立董事，同意票比例超99%[8]

回购信息 - 回购方案首次披露日为2025年8月29日[3] - 实施期限为2025年9月17日至2026年9月16日[3] - 预计回购金额5000万元至10000万元[3] - 累计已回购股数441,120股，占总股本0.1247%[3] - 累计已回购金额60,224,451.49元[3] - 实际回购价格区间127.30元/股至156.96元/股[3] - 公司将在期限内择机回购并及时披露信息[7]

海外半导体零部件环节市场表现 - 2026年以来海外半导体零部件公司股价涨幅显著领先于其他半导体资产 截至2026年2月22日 UCT MKS VAT 大和热磁年初以来涨幅分别为134% 62% 38% 28% 而同期存储核心资产SK海力士 LAM KLA涨幅为55% 43% 23% 零部件环节领涨行情明确[3] - 近60个交易日内 UCT MKS等零部件公司股价表现同样强劲 涨幅分别达到166%和80% 显著跑赢同期设备与晶圆厂资产[4] - 海外零部件龙头公司2025年第四季度业绩及指引普遍超预期 印证行业高景气上行 例如MKS半导体收入达4.35亿美元超指引高端 AE半导体收入已回升至历史第二高水平 且客户均表示下半年需求将继续走高[16][17] 领涨的底层驱动逻辑 - AI驱动下全球半导体产业持续高强度资本开支 带动零部件需求进入上行拐点 台积电将2026年资本开支上调至520-560亿美元 同比增幅达27%-37% SK海力士 三星 美光等巨头也大幅提升资本开支计划[6][7] - 半导体零部件作为典型重资产行业 固定资产周转率普遍低于设备商 例如UCT MKS 富创精密2024年固定资产周转率分别为6.4次 4.6次和1.1次 低于AMAT LAM的9.0次和7.4次 这使得其稼动率提升时利润释放弹性更大[12] - 复盘历史周期 零部件公司业绩波动性极大 但在上行周期中利润呈现数倍增长弹性 例如2016年和2019年周期中表现显著[12] 中国大陆半导体零部件产业机遇 - 自主可控叠加全球存储周期驱动 中国大陆先进存储与逻辑制程扩产强度预计将强于海外 仅存储端 预计2026年长江存储与长鑫存储合计扩产10-11万片/月 对应资本开支约140-180亿美元[20][22] - 中国大陆存储芯片供需存在巨大静态缺口 2024年本土供给仅占全球产能约10.6% 但需求占全球市场37% 供需缺口高达27.6个百分点[21] - 供应链自主可控需求迫切 美 日 荷等国持续加强对华半导体设备及技术出口管制 推动国产零部件替代进程加速[30][32] - 国内龙头设备商存货周转天数已处于历史较低水平 例如2025年第三季度末北方华创 中微公司存货周转天数分别为463天和420天 随着扩产订单落地 有望开启快速补库周期 拉动零部件需求[23][24] 市场规模与竞争格局 - 半导体零部件市场空间广阔但高度细分 预计2026年中国大陆市场规模将超过1600亿元人民币 按功能可分为机械类 电气类 机电一体类 气液路类 仪器仪表类和光学类等 其中机械类市场规模最大 约497亿元[39][40] - 全球市场目前由美日企业主导 根据2020年数据 美系企业数量占比达46% 日系占36% 从收入体量看 2025年全球前十大供应商中 美日企业占据六席 如美国的UCT MKS 日本的Ebara Horiba等[47][49] - 不同细分赛道特征各异 1 气液路系统 如真空泵 阀门 市场规模大且有一定技术壁垒 易孕育大体量公司 2 电气类 如射频电源 和光学系统 市场规模相对小但技术壁垒极高 行业集中度高 3 金属结构件 市场规模大但加工壁垒较低 竞争激烈[51] 国产化率现状与核心选股思路 - 机械类零部件国产化进展相对较好 其中金属结构件和工艺件在成熟制程国产化率已接近50% 但非金属件 如硅 石英 陶瓷件 仍为日企优势赛道 国产化率普遍低于10%[54][56] - 电气类与仪器仪表类国产化难度大 但正处于加速替代阶段 例如陶瓷加热器 静电卡盘国产化率约10% 射频电源低于10% MFC 质量流量计 低于5%[58][59] - 气液路类处于加速替代阶段 但美日企业优势突出 例如真空泵 阀门 喷淋头等国产化率多低于10% 气体输送系统作为晶圆厂“毛细血管” 主要由美国UCT Ichor主导 国产化率低于20%[60][64] - 机电一体类部分产品已实现较好国产替代 如温控装置 废气处理装置国产化率超过30% 但机械手 EFEM 双工台等产品国产化率仍在10-20%或更低[67][69] - 当前板块核心选股思路在于“赛道天花板+国产化率” 优先选择市场规模大 远期国产化率提升空间显著的细分赛道 如陶瓷件 射频电源 气体输送系统 真空泵等[71] 重点公司分析 - **富创精密**：国内半导体零部件平台化龙头 产品覆盖机械及机电组件 气体传输系统等 是全球少数能量产应用于7nm及以上先进制程的零部件供应商 2018-2024年营收复合年增长率达54% 通过收购Compart Systems深化在气体传输领域布局 公司固定资产规模至2025年第四季度末已达约49亿元 产能布局领先 有望深度受益于先进制程扩产浪潮[74][77][80] - **珂玛科技**：国内先进陶瓷零部件龙头 主营陶瓷结构件 陶瓷加热器和静电卡盘 2019-2024年归母净利润复合年增长率高达90% 陶瓷加热器已在国内晶圆厂批量出货 技术壁垒高 远期市场空间广阔 仅陶瓷加热器在NAND DRAM产能达70万片/月时 潜在需求空间超130亿元[87][93][104] - **恒运昌**：国内射频电源系统龙头 首家支持7-14nm先进制程的国产射频电源供应商 2022-2024年营收和归母净利润复合年增长率分别为85%和132% 下游客户包括拓荆科技 中微公司 北方华创等头部设备商 在3D堆叠技术驱动下 射频电源需求有望量价齐升[111][115] A股半导体零部件板块估值分析 - 与海外同业相比 A股零部件板块在涨幅和估值上存在一定低估 截至2026年2月22日 A股零部件板块年初至今平均涨幅为23% 近120日涨幅为42% 而海外零部件公司同期涨幅分别接近70%和翻倍以上[33] - 估值方面 海外头部零部件公司2026年预测市盈率均值达89倍 而A股对应板块2026年预测市盈率均值为51倍 但A股公司2025-2027年营收和利润预测复合年增长率分别为33%和214% 成长性显著强于海外[33][36]

公司2025年度业绩快报核心数据 - 报告期内实现营业总收入46.48亿元，同比增长36.46% [1] - 实现归属于母公司所有者的净利润10.86亿元，同比增长6.07% [1] - 实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润9.67亿元，同比增长12.90% [1] 业绩增长驱动因素 - 半导体市场需求强劲，公司产品技术水平和性能持续提升 [1] - 在CMP装备领域持续保持竞争优势 [1] - 离子注入装备和磨划装备产品验证情况良好、出货数量快速增加 [1] - 平台化发展战略加强，满足了客户的多样化需求 [1] 市场拓展与客户发展 - 新客户拓展和新市场开发方面取得显著成效，成功开发多个新客户并获得认可 [1] - 良好的市场口碑为收入增长提供了有力支撑，促进公司营收规模快速增长 [1]

收入和利润（同比） - 营业总收入为464,822.77万元，同比增长36.46%[4][6] - 归属于母公司所有者的净利润为108,552.74万元，同比增长6.07%[4][6] - 归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润为96,662.02万元，同比增长12.90%[4][6] - 利润总额为119,958.21万元，同比增长7.27%[4][6] - 基本每股收益为3.08元，同比增长5.84%[4] 盈利能力指标变化 - 加权平均净资产收益率为15.55%，同比减少1.49个百分点[4] 资产和所有者权益（期初对比） - 总资产为1,314,380.89万元，较期初增长11.85%[4][6] - 归属于母公司的所有者权益为746,029.60万元，较期初增长15.25%[4][6] 股本变动原因 - 股本为35,365.20万元，较期初增长49.39%，主要因资本公积转增股本及股权激励归属[4][7] 业务线表现与市场驱动 - 半导体市场需求强劲，离子注入及磨划装备验证良好、出货快速增加，新客户拓展成效显著，推动营收增长[6][7]

报告核心观点 AI算力需求驱动全球半导体设备市场进入新一轮上行周期，先进逻辑与存储扩产是核心动力。制程迭代（逻辑向GAA/CFET演进，存储向高层数3D堆叠）显著提升单位产能设备投资额，并推动刻蚀与薄膜沉积等核心设备价值量提升。外部制裁强化了设备自主可控的紧迫性，中国大陆作为全球最大设备市场，国产化率仍有广阔提升空间，在政策与大基金支持下，国产设备商迎来加速替代机遇[2]。 --- 一、 国产设备商业绩高增，持续加大研发投入 - **营收与利润高速增长**：选取的14家半导体设备重点公司，2024年合计实现营业收入732.2亿元，同比增长33%；归母净利润119.0亿元，同比增长15%；扣非归母净利润104.2亿元，同比增长30%。2025年Q1-Q3合计营收648.0亿元，同比增长32%[12]。 - **盈利能力与费用控制**：2024年销售毛利率为45.3%，同比-3.3个百分点；销售净利率为12.6%，同比-5.1个百分点。2025年Q1-Q3期间费用率为32.2%，同比-6.6个百分点，控费能力优化[16]。 - **研发投入持续加码**：2024年研发投入达139.88亿元，同比增长34.7%，占营收比重19.1%。2025年上半年研发投入75.55亿元，同比增长28.4%。2020-2024年，员工总数从1.7万人增至4.5万人，研发人员占比从32.6%提升至38.9%[22]。 - **在手订单充足**：2024年末存货金额达626.9亿元，同比增长34%；合同负债192.1亿元，同比增长14%，连续三年创历史新高，为短期业绩提供支撑[26]。 二、 看好先进逻辑+存储扩产，资本开支持续上行 - **全球设备市场持续扩张**：SEMI预测，2025年全球半导体设备销售额将达1330亿美元，同比增长13.7%，创历史新高；2026/2027年有望进一步升至1450/1560亿美元。增长动能主要来自AI相关的先进逻辑、存储及先进封装投资[32]。 - **中国大陆为最大设备市场**：2024年，中国大陆半导体设备销售额达495亿美元，占全球市场的42%，连续四年成为全球最大市场。2025年Q1-Q3，中国市场占全球销售额的37%[33]。 - **中国晶圆厂扩产空间大**：中国大陆晶圆全球产能占比已从2021年的16%提升至2024年的22%，但仍低于其半导体销售额全球占比的30%，自主可控驱动下仍有较大扩产空间[36]。 - **逻辑端扩产主力明确**：中芯国际为内资逻辑扩产主力，2024年资本开支73亿美元（同比+15%），2025年指引为70-75亿美元。其产能利用率已从2023年Q1的68.1%回升至2025年Q3的95.8%[44]。但与国际龙头台积电（25Q2 12英寸月产能127.9万片）相比，中芯国际（26.5万片）和华虹（19.8万片）仍有巨大差距[49]。 - **存储端上市融资助力扩产**：中国头部存储厂商产能与国际龙头差距显著。长鑫存储（DRAM）25Q2月产能约26万片，长江存储（NAND）约14万片，远低于三星、SK海力士等[50]。长鑫存储科创板IPO已受理，拟募资295亿元用于技术升级与扩产[54]。其营收高速增长，2025年预计达550-580亿元（同比+127%~140%），亏损大幅收窄，产能利用率长期超90%，资本开支维持高位[58][63]。 三、 制程迭代带动设备放量，刻蚀与薄膜沉积价值提升 - **制程演进推动设备投资倍增**：逻辑制程从FinFET向GAA/CFET演进，存储向400层以上3D NAND堆叠演进，导致单万片/月产能投资额较28nm提升数倍，呈现“技术节点越先进、单位投资越高”的乘数效应[2]。 - **刻蚀设备需求与结构升级**：刻蚀设备在前道设备中价值占比达21%。先进制程对高深宽比刻蚀（HAR）、高选择比刻蚀（ALE）需求快速提升。在3D NAND制造中，高深宽比刻蚀工艺成本占比从64层时的21%提升至430层时的35%[86][89]。 - **薄膜沉积设备重要性凸显**：薄膜沉积设备价值占比达23%，为前道设备中最高。原子层沉积（ALD）技术因原子级精度和优异的高深宽比填充能力，在GAA晶体管和高层数3D NAND等先进结构中渗透率显著提升[96]。 四、 外部制裁加码与内部政策支持，驱动国产化率提升 - **海外制裁持续收紧**：美国、荷兰、日本持续强化对14nm及以下先进制程设备的出口限制，覆盖光刻、刻蚀、沉积、量检测等关键环节，中国大陆晶圆厂获取先进设备难度加大[101]。 - **中国大陆为关键市场**：2024财年，中国大陆市场在应用材料、LAM、东京电子（TEL）等全球头部设备商营收中占比普遍在30%-40%区间，凸显其市场重要性[111]。2024年中国从日本进口半导体设备391.7亿元，占总进口额23%[122]。 - **大基金三期提供资金支持**：国家集成电路产业投资基金三期募资规模达3440亿元，为历史之最。其子基金国投集新专注于半导体设备投资，已完成对拓荆科技子公司的投资[126][132]。 - **国产化率持续提升但空间仍大**：半导体设备整体国产化率已从2017年的13%提升至2024年的20%，预计2025年达22%。但光刻、薄膜沉积、量检测、涂胶显影、离子注入等环节国产化率仍低于25%，替代潜力显著[135][138]。具体来看，刻蚀设备国产化率（以中微、北方华创计）预计从2023年的19.9%提升至2025年的28.3%；清洗设备（以盛美、至纯、芯源微计）预计从2023年的28.2%提升至2025年的35.7%[139]。 五、 AI国产算力快速发展，看好先进封装&测试产业机遇 - **AI驱动芯片需求增长**：2024年中国AI芯片市场规模达1406亿元，预计2025年达1780亿元。AI服务器对DRAM容量需求是普通服务器的8倍，带动先进存储器放量[156][158]。 - **封测环节景气度回升**：截至2025年12月，全球及中国半导体销售额已连续26个月同比正增长。国内三大封测厂（长电、通富、华天）营收自2023年Q4以来持续同比增长[145]。全球封测龙头日月光2025年Q1-Q3资本开支达26.6亿美元，同比大增115%，反映扩产需求旺盛[150]。

半导体设备ETF华夏市场表现 - 2月27日，半导体设备ETF华夏开盘下跌，报价2.012元，跌幅为1.81% [1] - ETF前十大重仓股当日开盘普遍下跌，其中长川科技跌幅最大，为2.90%，中科飞测跌2.18%，芯源微跌2.00%，沪硅产业跌幅最小，为0.68% [1] 半导体设备ETF华夏产品概况 - 该ETF业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率 [1] - 产品管理人为华夏基金管理有限公司，基金经理为单宽之 [1] - 产品自2023年10月9日成立以来，累计回报率达105.08% [1] - 产品近一个月回报率为4.72% [1]

科创芯片ETF华宝（589190）市场表现 - **2月25日，科创芯片ETF华宝（589190）早盘从下跌转为上涨，场内价格一度上涨1.45%，最终收盘上涨0.83%** [1][11] - **当日ETF成交均价为0.967元，开盘价0.974元，最高价0.980元，最低价0.955元，总成交量37.57万手，换手率2.78%** [2][12] - **ETF的IOPV（基金份额参考净值）为0.9750元，收盘价0.974元，存在-0.10%的折价** [2][12] 半导体材料与设备板块领涨 - **ETF成份股中，半导体材料与设备方向涨幅居前，有研硅（688432）涨停，涨幅达20.00%** [1][11] - **中船特气（688146）上涨14.13%，富创精密（688409）上涨12.71%，拓荆科技（688072）上涨9.98%** [2][12] - **上海合晶（688584）上涨5.98%，沪硅产业（688126）上涨5.65%，华海清科（688120）、芯源微（688037）、中微公司（688012）等涨幅均超4.85%** [1][2][11][12] 全球半导体行业供需与价格信号 - **全球存储巨头SK海力士释放关键信号，指出全球存储芯片行业已全面转入卖方市场** [2][12] - **当前DRAM与NAND闪存库存仅能维持约4周，处于历史低位，所有客户的需求均无法被完全满足** [2][12] - **面向2026年的HBM（高带宽内存）产能已全部售罄，标准型DRAM供应持续紧张，全球半导体产业链正迎来系统性涨价潮** [2][12] 国产AI芯片生态协同发展 - **2月以来，智谱GLM-5、MiniMax M2.5、千问Qwen3.5-Plus、豆包2.0+Seedance2.0等国产旗舰AI模型集中上线** [3][13] - **GLM-5模型已完成与华为昇腾、寒武纪、昆仑芯、摩尔线程、沐曦、隧原、海光等主流国产算力芯片平台的深度推理适配** [3][13] - **这标志着国产AI芯片生态进入实质性协同攻坚阶段** [3][13] 芯片行业高景气在业绩端得到验证 - **以上证科创板芯片指数权重股为例，寒武纪-U（688256）预计2025年实现营收60-70亿元，同比增长410.87%-496.02%** [3][4][13][14] - **寒武纪-U预计2025年实现归母净利润18.5-21.5亿元，实现扭亏为盈** [3][4][13][14] - **中芯国际（688981）预计2025年营收673.23亿元，同比增长16.49%，净利润50.41亿元，同比增长36.29%** [4][14] - **澜起科技（688008）预计2025年净利润21.5-23.5亿元，同比增长52.29%-66.46%** [4][14] - **中微公司（688012）预计2025年营收123.85亿元，同比增长36.62%，净利润20.8-21.8亿元，同比增长28.74%-34.93%** [4][14] 上证科创板芯片指数表现优异 - **截至2025年末，上证科创板芯片指数自基日（2019年12月31日）以来的年化收益率达17.93%** [7][16][18] - **该指数年化收益率显著优于科创创业半导体指数（17.19%）、国证芯片指数（13.86%）和中证全指半导体指数（13.10%）** [8][16] - **该指数区间最大回撤为-56.81%，优于同类指数的-60.05%至-62.54%，风险收益比更好** [8][16] - **指数近5个完整年度涨跌幅为：2021年6.87%，2022年-33.69%，2023年7.26%，2024年34.52%，2025年61.33%** [8][16] 科创芯片ETF华宝（589190）产品概况 - **科创芯片ETF华宝（589190）及其联接基金（A类021224，C类021225）被动跟踪上证科创板芯片指数** [5][15] - **该指数囊括50只涉及半导体材料与设备、芯片设计、制造、封装和测试的硬科技标的** [5][15] - **ETF在集成电路、半导体设备等核心领域的合计权重占比超过90%** [5][15]