行业投资评级 - 报告未明确给出行业投资评级 [1] 报告的核心观点 - 半导体设备零部件的重要性持续提升，尤其是在先进制程的半导体设备中，零部件的质量、性能和精度直接决定了设备的可靠性和稳定性 [2][3] - 国产半导体设备零部件的精度、洁净度、质量尚无法完全满足设备厂和晶圆厂的需求，国产化率较低，存在较大的发展空间 [8][12] - 半导体设备零部件行业整体集中度较为分散，主要由美国、日本和欧洲等地区的企业主导 [7] - 半导体设备零部件的壁垒主要体现在上游原材料获取困难、客户认证困难、单个市场空间不大 [18][19][20] - 平台化和模块化将成为半导体设备零部件公司的主要发力方向，通过并购整合实现产品线扩张 [21][23] - 半导体设备零部件市场将迎来飞速增长，相关企业将获得资本市场关注 [24] 零部件为何成为焦点 - 半导体设备零部件的重要性持续提升，尤其是在先进制程的半导体设备中，零部件的质量、性能和精度直接决定了设备的可靠性和稳定性 [2][3] - 光刻机的性能由光源系统、光学系统、双工件台系统等核心零部件决定，这些零部件的性能直接影响光刻机的分辨率和套刻精度 [3] - 半导体设备零部件的主要类别包括机械类、电气类、机电一体类、真空类、仪器仪表类、光学类等，2021年全球半导体设备零部件细分市场中，机械类占比最大（27%），真空系统次之（20%） [3] 国产替代新焦点 - 国产半导体设备零部件的精度、洁净度、质量尚无法完全满足设备厂和晶圆厂的需求，国产化率较低，存在较大的发展空间 [8][12] - 从细分产品来看，静电卡盘、O形密封圈、阀门、测量仪器国产化率不足1%；射频电源、机械手、EFEM、气体流量计国产化率15%；陶瓷件、真空泵国产化率510%；边缘环、石英件、喷淋头国产化率超过10% [8][10] - 半导体设备零部件行业整体集中度较为分散，主要由美国、日本和欧洲等地区的企业主导 [7] 半导体设备零部件的难点 - 半导体设备零部件的市场规模与半导体设备市场息息相关，2024年前三季度中国大陆半导体设备支出额共计376.6亿美元，占全球半导体设备支出的比例为45.1% [13] - 半导体设备零部件是半导体设备厂商最主要成本来源，约占半导体设备总价值的40%左右，预计2024年中国半导体设备零部件市场规模将达到170亿美元，未来几年仍以5%以上增速持续增长 [13] - 半导体零部件需用于精密的半导体制造，其尖端技术密集的特性尤其明显，有着精度高、批量小、多品种、尺寸特殊、工艺复杂、要求极为苛刻等特点 [17] - 半导体设备零部件的壁垒主要体现在上游原材料获取困难、客户认证困难、单个市场空间不大 [18][19][20] 投融动态 - 半导体设备零部件的增长来源于两个方面，一是层出不穷的创新如AI、智能穿戴带动半导体市场不断增长，从而拉动半导体设备零部件市场；二是出于供应链安全的考虑，提高国内半导体设备零部件的国产替代率已成为战略目标 [24] - 目前国内参与半导体设备零部件的公司主要有两类：其一为其他领域如电子工业、光伏、食品工业等横向切入半导体设备零部件的公司；另一类则是半导体设备公司内部孵化平台 [24] - 2024年以来半导体设备零部件赛道投融火热，知名机构与产业资本争相投入，融资主要集中在A轮及以前早期事件，千万级融资事件最多 [25][28]