行业投资评级 - 半导体清洗设备行业市场前景广阔，未来5年有望实现全面国产化 [44][45] 核心观点 - 半导体清洗设备是芯片良率的“保镖”，随着芯片工艺节点的升级，清洗步骤大幅增加，带动市场需求 [1][10] - 单片清洗设备是目前市场主流，2019年占比达到75%，且随着集成电路特征尺寸的缩小，单片清洗设备的运用更加广泛 [11] - 湿法清洗是主流的清洗技术路线，2019年占芯片制造清洗步骤数量的90%以上 [12] 行业分类 - 半导体清洗设备行业按照清洗方式不同，可分为单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备和批式旋转喷淋清洗设备 [3][4] 行业特征 - 半导体清洗设备是芯片良率的“保镖”，单片清洗机是目前市场主流，湿法清洗是主流的清洗技术路线 [8][9][12] 发展历程 - 半导体清洗设备的发展历程与半导体技术进步和制造工艺要求密切相关，湿法清洗和干法清洗设备在市场中逐步并行发展 [13][15][16] 产业链分析 - 半导体清洗设备产业链上游为原材料和零部件，中游为制造环节，下游为晶圆制造和封装测试等行业 [17][18][19] - 中国大陆半导体清洗设备企业发展较快，国产化率逐渐提升，技术水平追赶国际企业 [18][25][26] 行业规模 - 2019年—2023年，半导体清洗设备行业市场规模由6.46亿美元增长至17.77亿美元，年复合增长率28.81% [31] - 预计2024年—2028年，半导体清洗设备行业市场规模由23.28亿美元增长至68.58亿美元，年复合增长率31.00% [31] 竞争格局 - 全球半导体清洗设备市场高度集中，DNS、TEL、LAM与SEMES四家公司合计市场占有率达到90%以上 [40][41] - 中国大陆半导体清洗设备企业主要包括盛美半导体、北方华创、芯源微及至纯科技，国产化率逐年上升 [40][43][45] 上市公司分析 - 盛美半导体是中国半导体清洗设备的行业龙头企业，2022年市场占有率达23%，主要产品为单片清洗设备 [43][50][53] - 北方华创在清洗机领域拥有单片清洗机、6/8英寸全自动槽式清洗机等产品 [54][57] - 沈阳芯源微电子设备股份有限公司开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品已形成完整的技术体系 [58][61]