行业投资评级 - 报告对半导体设备行业给予“看好”评级，认为半导体零部件国产替代趋势将推动行业快速发展 [1][3] 核心观点 - 半导体零部件处于芯片制造产业链上游，占半导体设备营业成本的90%，市场规模约为半导体设备市场的40% [4][30] - 半导体零部件国产化率提升是产业链自主可控的关键环节，高端产品仍有巨大替代空间 [4][19] - 半导体零部件市场伴随设备市场同步增长，预计国内市场规模将快速增长，国产零部件供应商市占率将加速提升 [3][4] 半导体零部件分类及市场分析 机械类 - 机械类零部件价值量占比最高，占设备成本的20%~40%，产品种类繁多，重点关注匀气盘、硅电极、陶瓷加热器、静电卡盘等高价值量产品 [2][19] - Shower head（气体分配盘）是CVD设备中最核心零部件之一，技术壁垒高 [39] - 硅电极及硅环为刻蚀设备核心耗材零部件，直接影响晶圆电学性能 [42][43] 电气类 - 射频电源是刻蚀、薄膜沉积等设备中的关键部件，价值量占比10%~20%，技术难度高，当前国内市场主要由美国MKS等海外厂商垄断 [2][50] - 射频电源在PECVD设备中至关重要，国内多家企业处于研发阶段 [58] 机电一体类 - EFEM（设备前端模块）是晶圆进入半导体设备的对接模块，核心部件包括晶圆装载装置、机械手等 [60][61] - 温控器用于对半导体设备进行温度控制，国内企业已呈现逐步国产替代趋势 [62][63] 气体/液体/真空系统类 - 气体/液体/真空类零部件价值量占设备成本的10%~30%，重点关注管阀、Gas Box等产品 [2][65] - Gas Box是半导体工艺设备侧的模组化气体供应系统，价值量较大且技术难度高 [67][69] 重点公司分析 江丰电子 - 江丰电子营收以靶材业务为主，半导体零部件业务快速增长，1H24零部件业务营收占比24% [71][75] - 公司研发项目重点向零部件业务倾斜，拓展产品品类及高端化布局 [84] 珂玛科技 - 珂玛科技主营业务为先进陶瓷材料零部件，2023年泛半导体领域营收占比66% [85][88] - 公司陶瓷加热器及静电卡盘已量产，2024年盈利能力大幅提升 [90][92] 先锋精科 - 先锋精科专注机械类零部件，关键工艺部件营收占比超40%，最大客户为中微公司 [94] - 2024年公司销售净利率回归至20%以上，9M24净利润增长249% [97][98] 富创精密 - 富创精密是国内半导体零部件业务营收规模排名前列的公司，涉足多类零部件环节 [100] - 公司模组产品营收占比快速提升，2023年模组产品营收占比45% [102] 新莱应材 - 新莱应材在泛半导体领域主要生产气体系统及真空系统中的管阀类零部件，2023年泛半导体营收占比24.6% [108] 正帆科技 - 正帆科技气体供应系统及Gas Box产品持续增长，下游应用最大领域包括集成电路及光伏 [48][49] 英杰电气 - 英杰电气营收以功率电源为主，下游应用前两大为光伏及半导体，9M24归母净利润约3亿 [54][56]