股权结构 - 张滨持股17,474,715股，占总股本比18.59%[1] - 深圳国中中小企业发展私募股权投资基金合伙企业持股5,230,902股，占总股本比5.56%，占无限售流通股比例7.33%[1][2] - 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业持股5,046,720股，占总股本比5.37%，占无限售流通股比例7.07%[1][2] - 合肥石溪产恒集成电路创业投资基金合伙企业持股3,162,794股，占总股本比3.36%，占无限售流通股比例4.43%[1][2] - 三亚市采希壹号私募基金合伙企业持股2,639,628股，占总股本比2.81%，占无限售流通股比例3.70%[1][2] - 深圳市萃通投资合伙企业持股2,410,040股，占总股本比2.56%[1] - 深圳市人才创新创业一号股权投资基金持股2,247,432股，占总股本比2.39%，占无限售流通股比例3.15%[1][2] - 香港中央结算有限公司持股2,120,489股，占总股本比2.26%，占无限售流通股比例2.97%[1][2] - 深圳源创力清源创业投资合伙企业持股2,089,869股，占总股本比2.22%，占无限售流通股比例2.93%[1][2] - 常州清源天使创业投资合伙企业持股1,789,476股，占总股本比1.90%，占无限售流通股比例2.51%[1][2]