股权结构 - 沈阳中科天盛自动化技术有限公司注册资本5600万元，中科院沈阳自动化所持股100%[10] - 该公司原持有新松机器人25.18%股份[13] 权益变动 - 变动前持有上市公司16,899,750股，占比8.41%，变动后不再持股[16] - 2025年3月31日与北方华创签《股份转让协议》[17] 交易数据 - 每股转让价85.71元，总价款1,448,477,572.50元[18] - 北方华创付30%履约保证金434,543,271.75元，5日内付余款[18] 其他交易 - 北方华创3月10日受让19,064,915股芯源微股份，完成后持股17.90%成大股东[21] 未来展望 - 信息披露义务人未来12个月内不继续增持[39]