以自筹资金预先投入募集资金投资项目 及支付发行费用的鉴证报告 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 容诚专字[2025]100Z1189 号 容诚会计师事务所(特殊普通合伙) 中国·北京 容诚会计师事务所（特殊普通合伙） 总所：北京市西城区阜成门外大街 22 号 1 幢 10 层 1001-1 至 1001-26 (100037) TEL:010-6600 1391 FAX:010-6600 1392 E-mail:bj@rsmchina.com.cn https://www.rsm.global/china/ 关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 以自筹资金预先投入募集资金投资项目 及支付发行费用的鉴证报告 容诚专字[2025]100Z1189 号 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司全体股东： 我们审核了后附的矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称矽电股 份公司）管理层编制的《关于以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行 费用的专项说明》。 论。 四、工作概述 我们按照《中国注册会计师其他鉴证业务准则第 3101 号－历史财务信息审计 或审阅以外的鉴证业务》的规定执行了鉴证业务。该准则要求我们计划 ...