公司投资评级 - 报告给予微导纳米“买入”评级，当前价格115.99元，合理价值116.53元 [6] 报告核心观点 - 微导纳米26H1业绩短期承压，但半导体设备收入首次超过光伏设备，成为公司增长核心驱动力 [1][2] 业绩表现 - 26H1实现营收11.89亿元，同比+13.27% [1] - 26H1实现归母净利润1.02亿元，同比-46.74% [1] - 26H1计提减值准备共计5366.40万元，利润端下滑主要受光伏减值与半导体产能爬坡折旧拖累 [1] - 26H1经营活动现金流净额由-1.82亿元大幅转正至1.92亿元，经营性回款能力显著增强 [1] - 26Q2实现营收7.07亿元，同比+31.05%，环比+46.73% [1] - 26Q2实现归母净利润0.81亿元，同比-24.78%，环比+287.44% [1] 业务结构变化 - 26H1光伏设备实现收入3.8亿元，受行业周期下行影响持续承压 [2] - 26H1半导体设备实现收入6.3亿元，同比+224.8%，占比52.9%，首次超越光伏设备成为第一大收入来源 [2] - 26H1半导体新增订单占全部新增订单比例超过85%，增量主要来自存储领域客户 [2] 半导体产品线突破 - 半导体薄膜沉积设备围绕ALD和高端CVD核心技术持续突破 [2] - ALD设备方面：由逻辑芯片、DRAM、3D NAND、先进封装等主流应用场景成功拓展至硅基电容等新兴场景 [2] - CVD设备方面：已完成下一代高温Carbon、DLC（类金刚石碳）、HDC（高密度碳）、WDC（钨掺杂碳）等多种新型碳膜及掺杂碳膜设备及工艺的开发 [2] - 在原有高温碳膜设备基础上开发新型CVD设备，具备沉积更高蚀刻选择比薄膜的能力 [2] - LPCVD等产品已逐步获得重要客户的重复订单 [2] 盈利预测 - 预计2026-2028年营业收入为30.85/41.03/52.57亿元 [3] - 预计2026-2028年归母净利润为3.78/5.66/8.44亿元 [3] - 预计2026-2028年营业收入增长率分别为17.2%/33.0%/28.1% [5] - 预计2026-2028年归母净利润增长率分别为72.4%/49.6%/49.2% [5] - 预计2026-2028年EPS分别为0.82/1.23/1.83元/股 [5] - 预计2026-2028年毛利率分别为28.4%/28.0%/30.3% [10] - 预计2026-2028年净利率分别为12.3%/13.8%/16.1% [10] - 预计2026-2028年ROE分别为11.7%/15.6%/20.0% [10] 估值 - 给予公司27年95倍的PE估值，对应合理价值116.53元/股 [3]