报告摘要 - 预计全球半导体量/检测设备市场将在2024年上半年开始回暖，然而中国大陆市场的恢复性增长将滞后半年到一年 [7] - 中国晶圆检测设备厂商基本实现了28nm及以上制程产品的初步覆盖 [8][9] 行业定义和分类 - 半导体过程控制（量/检测）设备是保证芯片生产良品率的关键 [12] - 半导体检测可分为前道量检测、后道检测和实验室检测 [13] - 量/检测技术主要包括光学检测技术、电子束检测技术和X光量测技术 [14][15] 产业链分析 - 产业链上游为高精度运动与控制系统类和光学类零部件，主要从日本和德国等海外供应商采购 [26][27][28] - 中国晶圆检测设备厂商产品已基本实现28nm及以上制程的初步覆盖 [30][31][32] - 中国晶圆厂在12英寸晶圆领域快速扩产，总体规划产能达417.3万片/月 [34][35] 政策支持 - 国家层面将半导体设备的研发和产业化作为重点支持 [38][39][40][41][42] - 地方层面纷纷出台政策支持集成电路产业链提升发展 [44][45][46][47][48][49] 市场规模 - 2023年全球半导体设备市场规模同比下降1.3%至1,063亿美元，中国大陆仍为全球最大市场 [52][53] - 2023年全球半导体量/检测设备市场规模达128.3亿美元，中国大陆市场规模为42.3亿美元 [56] 行业驱动因素和发展趋势 - 中国大陆晶圆厂产能爬坡带动晶圆检测设备采购需求增长 [58][59][60] - 美日荷先进半导体设备封锁促进中国晶圆检测设备国产替代 [62][63][64] - 工艺节点提升带动晶圆检测设备投资大幅增长 [66][67] - 光学检测分辨率提高、多系统组合、大数据检测算法、提高检测速度和吞吐量是发展趋势 [69][70] 行业竞争格局 - 全球半导体量/检测设备市场高度集中，科磊半导体(KLA)市占率超50% [73] - 中国晶圆检测设备国产化率已由2020年的2%左右提升至2023年的5%左右 [73] - 中国晶圆检测设备厂商已推出设备精度多为μm级别，nm级别精度产品多在研发或验证中 [75] 重点企业 - 中科飞测是国内半导体质量控制设备龙头企业，产品线持续扩充 [77][78][79] - 诚锋科技专注半导体视觉外观检测及前道YE图形检测设备，实现核心设备国产替代 [80] - 上海精测聚焦半导体前道检测设备，膜厚系列产品、OCD设备、电子束设备已获批量订单 [81][82][83][84]