文章核心观点 - 青禾晶元推出全球首台C2W&W2W双模式混合键合设备SAB8210CWW，标志公司技术创新重要突破，该设备优势显著，公司将持续深耕先进键合技术推动行业发展 [1][7] 后摩尔时代，混合键合成为主流 - 近年来芯片制造商受硅材料和半导体设备限制，难以缩小晶体管尺寸，先进封装成提高芯片性能有效手段，混合键合是先进封装关键技术 [3] - W2W混合键合已多领域应用，C2W混合键合快速兴起成异质异构集成主流技术，但实现过程面临键合精度、C2W键合效率等挑战，对设备提出更高要求 [3] SAB8210CWW设备：技术创新的集大成者 - 青禾晶元凭借深厚积累在SAB8210CWW设备上展现技术实力 [5] - 设备采用模块化设计，支持C2W和W2W双模式混合键合，适配研发与生产需求，提升使用率 [6] - 设备可兼容8寸和12寸晶圆，通过换部件快速切换，满足不同尺寸晶圆键合需求 [6] - 设备能处理最薄至35μm超薄芯片，全尺寸兼容性好，从0.5×0.5mm到50×50mm芯片均可处理，保证生产良率和可靠性 [6] - 设备提供片间同轴和红外穿透两种对准方式，对准精度优于±300nm（同轴）和±100nm（红外），应对不同芯片 [8] - 设备通过键合方式创新，减少颗粒污染风险，实现高良率键合 [8] - 设备C2W和W2W键合技术实现±30nm对准精度和±100nm键合精度，C2W单键合头UPH最高可达1000片/小时 [8] - 设备配备检测模块和内置算法，实现负反馈偏移补偿，确保键合精度稳定性和一致性 [8] 关于青禾晶元 - 青禾晶元是中国半导体键合集成技术高新技术企业，核心业务涵盖高端键合装备研发制造与精密键合工艺代工 [9] - 公司技术应用于先进封装等前沿领域，通过“装备制造+工艺服务”构建全产业链解决方案 [9] - 公司已开发四大自主知识产权产品矩阵，致力于为全球半导体产业链提供键合装备与方案，助力战略新兴产业崛起 [9]